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周正扬
作品数:
1
被引量:2
H指数:1
供职机构:
辽宁石油化工大学化学化工与环境学部
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
一般工业技术
电子电信
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合作作者
李嘉
辽宁石油化工大学化学化工与环境...
范志平
辽宁石油化工大学化学化工与环境...
焦玉娟
辽宁石油化工大学化学化工与环境...
吕雪川
辽宁石油化工大学化学化工与环境...
高肖汉
辽宁石油化工大学化学化工与环境...
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辽宁石油化工...
作者
1篇
高肖汉
1篇
吕雪川
1篇
焦玉娟
1篇
范志平
1篇
李嘉
1篇
周正扬
传媒
1篇
现代化工
年份
1篇
2015
共
1
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多晶硅薄膜材料制备技术研究进展
被引量:2
2015年
阐述了多种多晶硅薄膜的制备方法和相关工艺技术,介绍了各种工艺条件对多晶硅薄膜材料的结构和性能等的影响,并比较了多种制备方法优点与不足,并对今后发展趋势和前景做出展望。
李嘉
焦玉娟
周正扬
高肖汉
吕雪川
范志平
关键词:
多晶硅薄膜
化学气相沉积
金属诱导晶化
太阳能电池
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