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赵龙波

作品数：1 被引量：4H指数：1
供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光学系统先进制造技术重点实验室更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域：理学机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇理学

主题

  • 1篇衍射
  • 1篇衍射光学
  • 1篇全息
  • 1篇全息图
  • 1篇线宽
  • 1篇激光
  • 1篇激光直写
  • 1篇光学

机构

  • 1篇中国科学院长...
  • 1篇中国科学院大...

作者

  • 1篇张学军
  • 1篇郑立功
  • 1篇王延超
  • 1篇朱德燕
  • 1篇张志宇
  • 1篇赵龙波

传媒

  • 1篇激光与光电子...

年份

  • 1篇2014
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
用于非球面检验的激光直写高精度计算全息图制作被引量：4
2014年
为实现高精度非球面的面形误差检测,对激光直写计算全息图(CGH)的关键技术进行研究。以获得最小线宽偏差为目的,通过基础工艺实验,探究离焦量对光刻胶上线宽的影响;研究湿法刻蚀过程对不同线宽引入的展宽规律;分析线宽误差与位置误差关系,得到CGH不同周期位置误差引入的波前误差。根据实验结果,制作最小线宽1.8 mm,直径80 mm的振幅型CGH。检测结果表明,波前误差均方根值为0.011l,达到l/100量级,可用于高精度非球面的检测。
赵龙波张志宇朱德燕王延超郑立功张学军
关键词：全息线宽
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