刘锐森
- 作品数：2 被引量：2H指数：1
- 供职机构：深圳大学材料学院深圳市特种功能材料重点实验室更多>>
- 发文基金：深圳市自然科学基金广东省科技计划工业攻关项目广东省大学生创新实验项目更多>>
- 相关领域：理学更多>>
- 电化学动力学参数的计算机拟合方法被引量：1
- 2008年
- 利用线性回归和一维函数极值搜索,编写程序在弱极化区对Butler-Volmer方程进行拟合,找出拟合误差最小的参数值,取得较好结果,拟合曲线接近实验曲线,误差小于一个数量级.
- 汤皎宁樊璠姚营刘锐森
- ECR结合中频磁控溅射制备掺Cu类金刚石膜工艺及性能研究被引量：1
- 2012年
- 为改善DLC膜的内应力及导热问题,采用ECR微波等离子体化学气相沉积及中频磁控溅射的方法制备掺Cu类金刚石膜,研究溅射电流对薄膜中Cu含量、薄膜表面形貌、结构及机械性能的影响。结果表明:改变溅射电流能有效地控制类金刚石膜中金属含量,拉曼光谱显示,制备的薄膜为典型的类金刚石薄膜结构;Cu的掺入使得类金刚石膜的硬度和耐磨损性能下降,但在一定溅射电流下可得到薄膜结构及机械性能均较好的掺Cu类金刚石膜。
- 佘博西李书昌谷坤明刘锐森汤皎宁
- 关键词：类金刚石膜电子回旋共振中频磁控溅射气相沉积
