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张婷婷
张婷婷
作品数:
1
被引量:3
H指数:1
供职机构:
桂林电子科技大学材料科学与工程学院
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发文基金:
广西信息材料重点实验室主任基金
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相关领域:
理学
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合作作者
韦帅
桂林电子科技大学材料科学与工程...
许积文
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杨玲
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作者
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王华
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杨玲
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许积文
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韦帅
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张婷婷
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材料导报
年份
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2013
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超声喷雾热解法制备ZnO:Al薄膜及其光电性能研究
被引量:3
2013年
摘要以乙酰丙酮锌、乙酰丙酮铝为锌和铝的原料,乙醇和水为溶剂,采用超声喷雾热解法在玻璃衬底上制备了Zn0:Al透明导电薄膜,研究了Al添加量为O%~20%(原子分数,下同)对ZnO:Al薄膜光电性能的影响。使用XRD、SEM、DSC、FTIR、四探针、分光光度计对薄膜进行了表征和分析。结果表明,300℃的低温能生长出结晶态的薄膜,AI掺杂引起晶格常数减小;晶粒形貌为片状;随着AI添加量的增加,方块电阻先降低后增大,Al添加量为4.0%时具有最低的方块电阻(4.43kΩ/sq),最佳的电阻率(O.43Ω·cm);Al添加量对薄膜的透光率影响较小,平均可见光透光率大于80%。真空热处理可显著降低方块电阻,A1添加量为4.O%的薄膜经过550℃热处理后,其方块由.阻降低到106n/sa.相应的巾.阻率为1.0X10-2Ω·cm.
杨玲
韦帅
张婷婷
许积文
王华
关键词:
喷雾热解法
ZNO
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