潘晓旭
- 作品数：4 被引量：10H指数：2
- 供职机构：北京航空航天大学航空科学与工程学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：理学电子电信一般工业技术水利工程更多>>
- 用于监测硅片应力的红外光弹仪被引量：3
- 2015年
- 为检测硅片在制造工艺中的应力变化,研制了可用于硅片应力检测/监测的红外光弹(IRPE)系统,获得了芯片的红外光弹图像。利用该系统得出了硅通孔(TSV)结构在退火过程中的应力变化,并发现虽然制造技术和工艺完全一样,但每个TSV的初始残余应力是不同的。不同的TSV取得零应力的温度点也不相同,然而当温度达到一定值时,所有TSV都将保持零应力状态。此外,该系统也用于晶圆键合质量的评价,相对于一般红外显微镜,其检测效果更佳,与超声法相比,其检测效果相当,但效率更高且不需耦合剂。
- 兰天宝潘晓旭苏飞
- 关键词：应力
- C/SiC陶瓷基复合材料的细观损伤行为研究
- 针对不同温度及机械载荷(拉、压)作用下的C/SiC陶瓷基复合材料,利用扫面电镜和配套的原位加栽装置探究其细观损伤机理。实验温度包括常温及450℃,加栽方式包括三点弯曲以及四点弯曲,加栽过程中实时观察试件的裂纹萌生、扩展以...
- 黄鹏飞潘晓旭王奇志张铮苏飞李海波王龙
- 关键词：细观机理失效模式
