您的位置： 专家智库 > >

胡波

作品数：1 被引量：2H指数：1
供职机构：湖南科技大学化学化工学院更多>>
相关领域：理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇单晶
  • 1篇单晶硅
  • 1篇直拉单晶硅
  • 1篇碳含量
  • 1篇热系统
  • 1篇加热器
  • 1篇氧

机构

  • 1篇湖南科技大学

作者

  • 1篇申少华
  • 1篇秦先志
  • 1篇胡波

传媒

  • 1篇湖南科技大学...

年份

  • 1篇2009
共 1 条 记 录，以下是 1-1
全选 清除 导出
排序方式：
直拉硅单晶炉热系统的改造对氧、碳含量的影响被引量：2
2009年
为了降低大直径硅单晶生长过程中所引入的氧、碳杂质含量,提高硅单晶质量,特对18英寸直拉硅单晶炉的热系统进行了改进.实验结果表明,通过改变氩气流向和加热器的尺寸的改进型热系统,可降低了硅单晶中的氧、碳含量,缩短拉制晶体时间,降低消耗功率,提高硅单晶质量.图10,表1,参13.
申少华胡波秦先志
关键词：直拉单晶硅热系统加热器
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0