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胡波
作品数:
1
被引量:2
H指数:1
供职机构:
湖南科技大学化学化工学院
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相关领域:
理学
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合作作者
秦先志
湖南科技大学化学化工学院
申少华
湖南科技大学化学化工学院
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胡波
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湖南科技大学...
年份
1篇
2009
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直拉硅单晶炉热系统的改造对氧、碳含量的影响
被引量:2
2009年
为了降低大直径硅单晶生长过程中所引入的氧、碳杂质含量,提高硅单晶质量,特对18英寸直拉硅单晶炉的热系统进行了改进.实验结果表明,通过改变氩气流向和加热器的尺寸的改进型热系统,可降低了硅单晶中的氧、碳含量,缩短拉制晶体时间,降低消耗功率,提高硅单晶质量.图10,表1,参13.
申少华
胡波
秦先志
关键词:
直拉单晶硅
热系统
加热器
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