李元元
- 作品数：2 被引量：4H指数：1
- 供职机构：中国科学院深圳先进技术研究院更多>>
- 发文基金：深圳市科技计划项目更多>>
- 相关领域：电子电信更多>>
- 基于MEMS技术的F-P腔滤波器分析与设计被引量：4
- 2017年
- 通过对微光纤法布里-珀罗(F-P)腔滤波器工作原理的综合分析,确立了微F-P腔滤波器静电驱动腔长调谐方案。对可调谐滤波器的主体部分进行光学设计和分析,确立了反射镜的多层薄膜光学结构,并借助ANSYS有限元力电耦合分析,最终选择L型桥臂支撑的腔体结构,可以实现0.625μm的调谐范围;保持桥面平行的能力很高,可实现高精度的滤波效果;结构稳固,能够抵抗制造时的残余应力。
- 李元元蒙庆华陈四海曾毅波郭航
- 关键词：滤波器调谐反射镜腔体结构
- 微F-P腔可调谐滤波器关键工艺研究
- 2016年
- 采用表面加工工艺,AZ5214E光刻胶进行光刻并反转,磁控溅射Ni Cr合金,剥离出高度为2.3μm的金属桥墩,填充聚酰亚胺作为牺牲层,再在牺牲层上光刻、沉积金属形成金属桥面,在金属桥面的中心嵌入第二布拉格反射镜。采用O2等离子体刻蚀去除聚酰亚胺膜,制作成微法布里—珀罗(F-P)腔,不需要硅片键合,克服了传统F-P腔高度不够高、调谐范围有限、腔平整度不好以及对设备要求高的缺点,并且可以做出大阵列结构,易于探测器集成。着重对腔体关键工艺,即金属桥墩的Ni Cr剥离工艺进行研究,针对现有技术缺陷,提出解决办法。
- 李元元蒙庆华陈四海曾毅波郭航
- 关键词：磁控溅射
