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胥鹏飞
作品数:
1
被引量:1
H指数:1
供职机构:
四川大学物理科学与技术学院微电子技术四川省重点实验室
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
理学
机械工程
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合作作者
刘鑫
四川大学物理科学与技术学院微电...
林巍
四川大学物理科学与技术学院微电...
马瑶
四川大学物理科学与技术学院微电...
龚敏
四川大学物理科学与技术学院微电...
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四川大学
作者
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胥鹏飞
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刘鑫
传媒
1篇
光散射学报
年份
1篇
2016
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重离子辐照SiO_2/Si结构变温光致发光谱研究
被引量:1
2016年
本文研究了重离子辐照前后SiO_2/Si结构光学性质的变化。实验选择初始能量为414 MeV,不同辐照总剂量的Sn离子,在室温下辐照氧化层厚度为36nm和90nm的SiO_2/Si结构。并在不同测试温度下获得了辐照前后SiO_2/Si结构的光致发光谱(PL)谱。在相同的测试温度下,随着辐照总剂量的改变,峰位发生了移动,峰的强度也发生了改变;在相同的辐照总剂量下,随着测试温度的改变,峰位发生移动。由于受束缚激子发光的影响,在测试温度为80K时出现了一个新的光致发光峰。
马瑶
龚敏
刘鑫
胥鹏飞
林巍
冷宏强
关键词:
重离子
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