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陈孟悦

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：上海工程技术大学材料工程学院更多>>
发文基金：上海市教育委员会重点学科基金更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇等离子体增强
  • 1篇等离子体增强...
  • 1篇微结构
  • 1篇化学气相
  • 1篇化学气相沉积
  • 1篇激发频率
  • 1篇薄膜微结构

机构

  • 1篇上海工程技术...

作者

  • 1篇何佳
  • 1篇任超
  • 1篇陈孟悦
  • 1篇邱海宁

传媒

  • 1篇上海工程技术...

年份

  • 1篇2012
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
激发频率对纳米晶硅薄膜微结构的影响
2012年
以SiH4和H2为气源,采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)技术制备了纳米晶硅薄膜,利用傅里叶变换红外光谱技术对不同激发频率下薄膜的微结构变化进行了研究.结果表明,薄膜中的氢含量(摩尔分数)和硅氢键合模式与激发频率有密切关系,提高激发频率可降低薄膜中的氢含量,并且硅氢键合以SiH2为主.
邱海宁何佳陈孟悦任超
关键词：等离子体增强化学气相沉积激发频率
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