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陶涛

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：东南大学电子科学与工程学院微电子机械系统教育部重点实验室更多>>
发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇压阻
  • 1篇压阻式
  • 1篇湿度传感器
  • 1篇线性度
  • 1篇离子注入
  • 1篇灵敏度
  • 1篇敏度
  • 1篇硅压阻
  • 1篇硅压阻式
  • 1篇感器
  • 1篇传感
  • 1篇传感器

机构

  • 1篇东南大学

作者

  • 1篇秦明
  • 1篇蔡晓艳
  • 1篇陶涛

传媒

  • 1篇电子器件

年份

  • 1篇2009
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
硅压阻式湿度传感器的研究
2009年
本文研究了一种利用压阻原理检测相对湿度的传感器结构。改进了压阻结构,在压阻的拐弯处用Al引线代替浓硼掺杂,避免了拐弯处压阻的负压阻效应,提高了传感器的灵敏度。采用离子注入工艺制作压阻,使得硼掺杂更加均匀,提高了压阻的匹配度。对流水出来的传感器进行测试和分析,数据结果表明:在20℃时,传感器的灵敏度为0.236 mV/%RH,最大湿滞约为5%RH,传感器有较好的线性。
蔡晓艳陶涛秦明
关键词：压阻离子注入灵敏度线性度
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共1页<1>
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