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钟钰
作品数:
3
被引量:1
H指数:1
供职机构:
东北大学理学院
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相关领域:
一般工业技术
农业科学
理学
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合作作者
陈丹丹
东北大学理学院
梁焕巢
东北大学理学院
滕春禹
东北大学理学院
李林
东北大学理学院
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第八届真空冶...
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2007
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薄膜生长初期岛形貌转变的模拟研究
被引量:1
2007年
用Kinetic Monte Carlo(KMC)方法实现了(001)衬底上薄膜生长初始阶段岛形貌的模拟。在模型中考虑了原子沉积、吸附原子扩散和绕岛运动等过程,并考虑了衬底温度、沉积速率、Lennard-Jones(L-J)作用势范围等因素对生长的影响。研究了岛边缘亚稳粒子绕岛运动对岛形貌的影响。结果表明,绕岛运动越强岛形貌越趋于紧致状。模拟中发现:当绕岛能力相同时,随着衬底温度的升高,岛形貌由紧致向枝晶转变。
陈丹丹
李林
滕春禹
钟钰
梁焕巢
关键词:
蒙特卡罗
沉积速率
各向异性(110)衬底上薄膜生长的蒙特卡罗模拟(英文)
本文用Kinetic Monte Carlo(KMC)方法实现了(110)衬底上薄膜生长初始阶段的模拟。模型中,衬底为二维的矩形格子,考虑了原子沉积、吸附原子扩散和绕岛运动等过程,并考虑了衬底温度、沉积速率等因素。研究了...
陈丹丹
李林
滕春禹
钟钰
梁焕巢
关键词:
蒙特卡罗
各向异性
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各向异性(110)衬底上薄膜生长的蒙特卡罗模拟
本文用Kinetic Monte Carlo(KMC)方法实现了(110)衬底上薄膜生长初始阶段的模拟。模型中,衬底为二维的矩形格子,考虑了原子沉积、吸附原子扩散和绕岛运动等过程,并考虑了衬底温度、沉积速率等因素。研究了...
陈丹丹
李林
滕春禹
钟钰
梁焕巢
关键词:
蒙特卡罗
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