刘永涛
- 作品数：4 被引量：2H指数：1
- 供职机构：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金湖南省自然科学基金中国科学院科研装备研制项目更多>>
- 相关领域：电子电信更多>>
- 扫描探针及其制备方法
- 本发明提供了一种扫描探针及其制备方法。所述扫描探针包括：衬底，包括平板部以及由所述平板部的一端延伸的呈针形的凸出部；静电探针，设置于所述凸出部之上；单电子晶体管，设置于所述平板部之上且与所述静电探针相对。所述制备方法包括...
- 秦华刘永涛李欣幸张志鹏
- 文献传递
- 太赫兹探测器读出电路的单电子晶体管制备被引量：2
- 2017年
- 射频单电子晶体管具有高电荷灵敏度和高读出速率的特点,可用于超导太赫兹单光子探测器产生的微弱电荷信号的读出。采用绝缘体上硅(SOI)材料制备的硅基单电子晶体管具有结构可控、工艺可重复的优点。但是,目前单电子晶体管的成品率约为30%,难以满足探测器阵列化的需求。为进一步提高单电子晶体管成品率,首先采用电子束零宽度线曝光工艺精确设定单电子晶体管的图形,其次对感应耦合等离子体刻蚀工艺中的气氛比例进行优化,实现电子束曝光图形的良好转移。最后通过降低氧化温度进一步保持了图形转移的准确度。单电子晶体管的隧穿势垒宽度得到了良好的控制,使成品率提高到90%,增强了单电子晶体管作为阵列化超导太赫兹单光子探测器读出电路的可行性。
- 刘永涛李欣幸张志鹏方靖岳秦华俞圣雯
- 关键词：单电子晶体管
- 单电子晶体管与原子力扫描探针的集成
- 2017年
- 单电子晶体管(SET)可用作超灵敏电荷计,将SET集成到原子力扫描探针上,可得到对被测样品的表面形貌和电荷空间分布扫描成像。介绍了一种硅基台阶型原子力扫描探针与SET的集成方案。一对共漏极的SET集成在台阶型针尖上,台阶型的针尖和静电探针的设计避免了SET的刻蚀损伤。通过SET和静电探针的电容耦合来实现电荷探测。将扫描探针与石英音叉进行组装,在8 K低温下成功实现了间距2μm金属光栅10°倾角的形貌扫描,并获得形貌图,针尖上的SET具有良好的库仑阻塞效应和单电子隧穿特性。
- 刘永涛李欣幸张志鹏秦华俞圣雯
- 关键词：石英音叉
- 扫描探针及其制备方法
- 本发明提供了一种扫描探针及其制备方法。所述扫描探针包括：衬底，包括平板部以及由所述平板部的一端延伸的呈针形的凸出部；静电探针，设置于所述凸出部之上；单电子晶体管，设置于所述平板部之上且与所述静电探针相对。所述制备方法包括...
- 秦华刘永涛李欣幸张志鹏
- 文献传递
