周亮
- 作品数：5 被引量：5H指数：1
- 供职机构：西南科技大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国防基础科研计划国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：理学一般工业技术化学工程更多>>
- 基于富勒烯液态源的超纳米晶金刚石薄膜生长
- 2012年
- 通过微波等离子体化学气相沉积技术(MWPCVD),以富勒烯(C60)甲苯饱和溶液为碳源,用载气携带的方式通入反应腔中生长金刚石膜。Raman光谱、SEM和AFM表征结果表明得到的超纳米晶金刚石薄膜相组成纯度较高,其平均晶粒尺寸约为15 nm,表面粗糙度为16.56 nm,薄膜平均生长速率约为0.6μm/h。此方法较其他以C60为碳源生长超纳米晶金刚石薄膜的方法更为简便,且容易控制富勒烯碳源的浓度,沉积速率更高,是一种新型的制备超纳米晶金刚石薄膜的可控工艺方法。
- 周亮王兵熊鹰叶勤燕王东吴高华
- 关键词：富勒烯C60微波等离子体化学气相沉积
- 掺硼浓度对金刚石薄膜二次电子发射特性的影响被引量：1
- 2012年
- 掺硼金刚石薄膜具有负电子亲和势和良好的电子运输性能且容易制备,作为冷阴极材料在图像显示技术和真空技术等领域都存在巨大的应用价值,引起人们的广泛关注。采用MPCVD法利用氢气、甲烷和硼烷的混合气体,制备出不同浓度的掺硼金刚石薄膜。结果表明,掺硼浓度影响金刚石薄膜的物相结构、组织形貌,进而影响其二次电子发射性能,当硼烷的流量为4mL/min时,制备的金刚石薄膜质量最好,二次电子发射系数约为90。
- 叶勤燕王兵甘孔银李凯周亮王东
- 掺氮纳米金刚石膜的制备和性能被引量：3
- 2011年
- 以Ar、CH_4和CO_2为反应气源,以三聚氰胺的甲醇饱和溶液为掺杂源,用微波等离子体化学气相沉积法在单晶硅基体上制备了掺氮的金刚石薄膜;用原子力显微镜、拉曼光谱以及霍尔效应测试仪等手段表征了膜的组成结构和半导体特性。结果表明:掺氮的金刚石薄膜晶粒平均尺寸约为20nm,表面粗糙度约为8.935nm,其拉曼光谱为典型的纳米金刚石膜特征峰形;掺氮膜材的电导率高达0.76×10~2Ω^(-1)cm^(-1),载流子浓度达到2.18×10^(19)/cm^3,是一种导电性能优良的n型半导体纳米金刚石膜。
- 王延平王兵熊鹰周亮
- 关键词：无机非金属材料微波等离子体化学气相沉积N型掺杂纳米金刚石薄膜
- 掺氮N型纳米金刚石薄膜的电化学表面氢化及表征
- 2012年
- 针对掺氮N型纳米金刚石薄膜独特的结构特征,采用温和的电化学阴极表面极化处理成功实现了掺氮N型纳米金刚石薄膜的表面氢化。通过X射线光电子能谱(XPS)、表面接触角、电化学电容-电压分析、Raman光谱、扫描电子显微镜(SEM)表征,详细分析了阴极极化处理前后掺氮N型纳米金刚石薄膜的表面结构以及微观结构。结果表明,该阴极极化处理工艺不仅能够成功获得表面氢终止状态,而且对薄膜的微观结构尤其是晶界处sp2杂化态碳相无明显影响,说明该工艺是一种高效无损的掺氮N型纳米金刚石薄膜表面氢化工艺。
- 王东熊鹰王兵周亮叶勤燕陶波
- 关键词：氢化阴极极化微观结构
- 微波功率对掺氮纳米金刚石薄膜组成、结构及性能的影响被引量：1
- 2012年
- 以CH4和CO2作生长金刚石薄膜的反应气体,以Ar作载气将三聚氰胺甲醇饱和溶液带入沉积室内作氮掺杂源,用微波等离子体化学气相沉积法在单晶硅衬底上制备出掺氮纳米金刚石薄膜。通过拉曼光谱、原子力显微镜、霍尔效应研究了掺氮纳米金刚石薄膜的组成、结构和导电性能,重点研究了微波输入功率对薄膜特性的影响。结果表明,制备的掺氮纳米金刚石薄膜具有良好的电子导电性,且随着激发等离子体微波功率的增大,其晶粒尺寸、晶界宽度、表面粗糙度和电导率增大,在最佳微波功率条件下制备出电子电导率高、材料质量好的纳米金刚石薄膜。
- 王兵王延平熊鹰周亮叶勤燕
- 关键词：微波等离子体纳米金刚石薄膜电导率
