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许凯
作品数:
2
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国家纳米科学中心
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王振兴
国家纳米科学中心
何军
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作者
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何军
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王振兴
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许凯
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1篇
2018
1篇
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一种顶栅结构的超薄硫化铪光电晶体管及其制备方法
本发明涉及一种顶栅结构的超薄硫化铪光电晶体管及其制备方法,属于无机半导体纳米材料技术和器件应用领域。本发明通过采用界面调控的方法,蒸镀一层金属层作为成核点,生长高k介电常数的氧化铪层,从而制备顶栅结构的超薄硫化铪光电晶体...
何军
许凯
王振兴
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一种顶栅结构的超薄硫化铪光电晶体管及其制备方法
本发明涉及一种顶栅结构的超薄硫化铪光电晶体管及其制备方法,属于无机半导体纳米材料技术和器件应用领域。本发明通过采用界面调控的方法,蒸镀一层金属层作为成核点,生长高k介电常数的氧化铪层,从而制备顶栅结构的超薄硫化铪光电晶体...
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