高春雨
- 作品数:2 被引量:1H指数:1
- 供职机构:国家安全生产监督管理局安全科学技术研究中心更多>>
- 发文基金:博士科研启动基金“十一五”国家科技支撑计划国家教育部博士点基金更多>>
- 相关领域:金属学及工艺化学工程理学更多>>
- 一种用于金刚石膜沉积装置的重入式微波谐振腔
- 2010年
- 微波等离子体化学气相沉积法(MPCVD)是制备高品质金刚石膜的重要方法,而MPCVD技术的关键是其设备核心部件谐振腔的设计。本文基于目前广泛应用的圆柱式和椭球式两种MPCVD谐振腔中微波传输的特点和其各自的优点,提出了一种重入式微波谐振腔的设计构想,并利用数值模拟的方法对这一构想进行了验证。模拟的结果表明,微波在重入式微波谐振腔内外壁之间的路径传输后,可在金刚石膜沉积台处形成一最强且相对均匀的电场。在相同的输入功率下,其形成的最大电场强度高于圆柱式和椭球式两种谐振腔时的情况。由于重入式的微波谐振腔具有结构简单、频率易于调节的优点,因而这一构想可为设计制造新型的MPCVD金刚石膜沉积设备提供参考依据。
- 李晓静唐伟忠高春雨于盛旺许恒志胡浩林
- 关键词:数值模拟电场分布金刚石膜
- 微细胞皿注塑模具变温系统设计被引量:1
- 2012年
- 采用微细电火花技术铣削加工了细胞皿模具型腔,以聚丙烯(PP)为例进行了成形工艺数值模拟分析,结果表明,注射速率、模具温度、熔体温度对充模过程影响较大,模具温度需要达到120℃型腔才能充满。提出了油水电相结合的变模温技术,变模温实验结果表明,型腔温度从80℃变化到120℃大约需要6min。填充实验表明,油水电相结合的变模温技术对实现微注塑模具成形过程的变模温是可行的。
- 徐斌高春雨王敏杰于同敏
- 关键词:数值模拟