刘泉
- 作品数：4 被引量：7H指数：2
- 供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金王宽诚教育基金更多>>
- 相关领域：理学机械工程文化科学更多>>
- 等离子体化学刻蚀设备中的可更换喷嘴ICP发生装置
- 本发明公开了一种等离子体化学刻蚀设备中的可更换喷嘴ICP发生装置，属于光学曲面镜加工精密加工装置技术领域。该ICP发生装置包括喷嘴、等离子体炬管、套设于等离子体炬管外的感应线圈、高压特斯拉点火线圈、射频电源和匹配器，射频...
- 王旭薛栋林张学军刘泉郑立功
- 文献传递
- 等离子体化学刻蚀设备中的可更换喷嘴ICP发生装置
- 本发明公开了一种等离子体化学刻蚀设备中的可更换喷嘴ICP发生装置，属于光学曲面镜加工精密加工装置技术领域。该ICP发生装置包括喷嘴、等离子体炬管、套设于等离子体炬管外的感应线圈、高压特斯拉点火线圈、射频电源和匹配器，射频...
- 王旭薛栋林张学军刘泉郑立功
- 可见光域多波长叠层衍射成像的实验研究被引量：5
- 2015年
- 运用模拟实验和光学实验研究了叠层衍射成像中波长数量和噪声对复原结果的影响.模拟结果表明,在多波长叠层衍射成像中,复原质量随波长数量的增加而不断提高并最终达到一定极限.光学实验以不同样品进行实验验证,进一步研究了增加波长与随之引入噪声及系统复杂度间的制约关系.研究发现,并非波长越多成像效果越好,而可能存在一个最优的成像条件.利用所建实验装置,在双波长照明条件下取得了相对最优的成像效果.本结论对提高叠层衍射成像的质量具有现实意义.
- 王东马迎军马迎军史祎诗
- 关键词：迭代算法
- 用于大口径平面镜检测的五棱镜扫描检测系统装调技术研究被引量：2
- 2015年
- 五棱镜扫描检测具有结构简单、检测周期短等优点,可实现低阶像差的高精度检测,是指导大口径、超大口径平面镜光学加工的有效途径。基于光线矢量追迹理论,建立五棱镜扫描检测系统数学模型,并采用最小二乘法推导出系统测量精度与系统主要光学元件角度变化量之间的解析表达式。在此基础上,分析了系统测量精度对元件装调精度的灵敏度,给出了系统精确装调的实施方案,并进行了系统装调试验,探索出适合大口径平面镜检测的五棱镜扫描检测系统装调流程。实验结果表明,由装调过程引起的系统测量误差可控制在40 nrad以内。通过理论分析和装调试验,验证了使用五棱镜扫描检测技术进行大口径平面检测的可行性。
- 戚二辉罗霄刘泉郑立功张学军
- 关键词：光学设计五棱镜
