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苗小丹

作品数：1 被引量：5H指数：1
供职机构：上海交通大学微纳米科学技术研究院微米纳米加工技术国家级重点实验室更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇电磁驱动
  • 1篇电铸
  • 1篇湿法腐蚀
  • 1篇双稳
  • 1篇双稳态
  • 1篇微电铸
  • 1篇微机电系统
  • 1篇机电系统
  • 1篇MEMS
  • 1篇电系统

机构

  • 1篇上海交通大学

作者

  • 1篇丁桂甫
  • 1篇戴旭涵
  • 1篇赵小林
  • 1篇张晓鹏
  • 1篇苗小丹

传媒

  • 1篇传感器与微系...

年份

  • 1篇2009
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
一种新型MEMS双稳态微电磁驱动器的研究被引量：5
2009年
介绍了一种新型MEMS双稳态微电磁驱动器,通过理论分析和有限元分析工具Ansys对器件的结构参数进行了优化设计,并证明了设计的可行性。利用金属基表面微加工技术与体硅微加工技术成功制作出这种驱动器,并对其弹性平台的弹性系数进行了标定,对驱动器的双稳态进行了调试。结果表明:此驱动器具有良好的双稳特性,响应时间短(约10m s)的特点。
张晓鹏戴旭涵苗小丹丁桂甫赵小林
关键词：微机电系统电磁驱动微电铸湿法腐蚀
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