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路畅

作品数:14 被引量:2H指数:1
供职机构:电子科技大学更多>>
相关领域:文化科学一般工业技术自动化与计算机技术化学工程更多>>

文献类型

  • 13篇专利
  • 1篇学位论文

领域

  • 4篇文化科学
  • 2篇自动化与计算...
  • 2篇一般工业技术
  • 1篇化学工程
  • 1篇电子电信

主题

  • 14篇氧化钒薄膜
  • 14篇二氧化钒
  • 14篇二氧化钒薄膜
  • 3篇相变特性
  • 2篇电阻
  • 2篇电阻变化
  • 2篇氧化钒
  • 2篇太赫兹
  • 2篇图形化
  • 2篇氢气
  • 2篇热电
  • 2篇微细图形
  • 2篇炉管
  • 2篇刻蚀
  • 2篇化学计量
  • 2篇化学计量比
  • 2篇激光
  • 2篇激光刻蚀
  • 2篇管式
  • 2篇管式炉

机构

  • 14篇电子科技大学

作者

  • 14篇路畅
  • 13篇林媛
  • 13篇高敏
  • 7篇潘泰松
  • 7篇徐晨曦
  • 6篇杨帆
  • 2篇王旭
  • 1篇梁伟正

年份

  • 2篇2024
  • 4篇2023
  • 2篇2022
  • 3篇2021
  • 2篇2019
  • 1篇2016
14 条 记 录,以下是 1-10
排序方式:
一种图形化二氧化钒薄膜的制备方法
本发明提供一种图形化二氧化钒薄膜的制备方法,属于二氧化钒薄膜制备技术领域。该制备方法在高分子辅助沉积法生长薄膜的流程间加入激光加工步骤,所需图形能够一步成型,能够实现二氧化钒薄膜的微细图形化,且边缘清晰、结构完整。所制备...
高敏杨帆林媛潘泰松路畅徐晨曦
文献传递
一种基于二氧化钒薄膜的热电协同调控的红外光开关
本发明的目的在于提供一种基于二氧化钒薄膜的热电协同调控红外光开关,属于光开关技术领域。该光开关同时集成了热电调控,采用图案化金属结构作为加热电路,使得二氧化钒处于渗流阈值附近,形成孤立的金属畴,即二氧化钒薄膜始终处于相变...
高敏杨帆林媛路畅徐晨曦
一种基于氮氢混合气产生装置的二氧化钒薄膜的制备方法
本发明提供一种基于氮氢混合气产生装置的二氧化钒薄膜的制备方法,属于二氧化钒薄膜制备技术领域。本发明采用PAD法制备二氧化钒薄膜,针对热处理过程中还原气氛容易发生波动从而影响制备二氧化钒薄膜质量的问题,一套还原气氛产生装置...
高敏徐晨曦林媛路畅杨帆
一种透射率可调的二氧化钒复合薄膜及其制备方法
本发明提供一种透射率可调的二氧化钒复合薄膜及其制备方法,属于薄膜材料制备技术领域。本发明二氧化钒复合薄膜为掺杂二氧化钒薄膜与未掺杂的二氧化钒薄膜交替生长而成,无需额外的添加层,层与层之间能够良好生长,得到较好的薄膜体系。...
高敏罗盛鲜林媛王旭路畅潘泰松
文献传递
一种基于氮氢混合气产生装置的二氧化钒薄膜的制备方法
本发明提供一种基于氮氢混合气产生装置的二氧化钒薄膜的制备方法,属于二氧化钒薄膜制备技术领域。本发明采用PAD法制备二氧化钒薄膜,针对热处理过程中还原气氛容易发生波动从而影响制备二氧化钒薄膜质量的问题,一套还原气氛产生装置...
高敏徐晨曦林媛路畅杨帆
文献传递
一种基于二氧化钒薄膜的太赫兹调制器及其调控方法
本发明提供一种基于二氧化钒薄膜的太赫兹调制器及其调控方法,属于太赫兹应用技术领域。本发明调制器采用VO<Sub>2</Sub>薄膜和金属光栅复合结构,利用二氧化钒的热致相变特性和对光栅周期的改变实现对太赫兹频率和幅度的多...
高敏王旭林媛罗盛鲜路畅潘泰松
文献传递
一种图形化二氧化钒薄膜的制备方法
本发明提供一种图形化二氧化钒薄膜的制备方法,属于二氧化钒薄膜制备技术领域。该制备方法在高分子辅助沉积法生长薄膜的流程间加入激光加工步骤,所需图形能够一步成型,能够实现二氧化钒薄膜的微细图形化,且边缘清晰、结构完整。所制备...
高敏杨帆林媛潘泰松路畅徐晨曦
二氧化钒太赫兹特性及其器件研究
二氧化钒(VO2,Vanadiumdioxide)在接近室温时(341K)会发生可逆的绝缘-金属转变(IMT,Insulator-MetalTransition),并伴随着在太赫兹(THz,Terahertz)波段显著的...
路畅
关键词:二氧化钒薄膜太赫兹钴掺杂
文献传递
基于多组分二氧化钒薄膜的柔性温度传感器及其制备方法
本发明涉及柔性温度传感技术领域,具体为基于多组分二氧化钒薄膜的柔性温度传感器及其制备方法,包括PMMA衬底、设于PMMA衬底上的金属电极、覆盖于金属电极上的多组分VO<Sub>2</Sub>薄膜、以及覆盖于多组分VO<S...
高敏徐晨曦林媛路畅姚宽洪
一种2.5英寸二氧化钒薄膜的制备方法
该发明公开了一种2.5英寸二氧化钒薄膜的制备方法,属于二氧化钒薄膜制备技术领域。针对背景技术所存在的采用PAD法制备二氧化钒薄膜时,热处理过程中管式炉内气氛容易发生波动从而影响制备二氧化钒薄膜质量的问题,本发明的目的在于...
高敏张佳佳林媛罗毅恒路畅潘泰松
共2页<12>
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