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陈玲

作品数：1 被引量：1H指数：1
供职机构：中国电子科技集团公司第四十九研究所更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇单晶
  • 1篇单晶硅
  • 1篇压力传感器
  • 1篇压阻
  • 1篇压阻效应
  • 1篇微机电系统
  • 1篇力传感器
  • 1篇机电系统
  • 1篇感器
  • 1篇超小型
  • 1篇传感
  • 1篇传感器
  • 1篇电系统

机构

  • 1篇中国电子科技...

作者

  • 1篇王香文
  • 1篇陈玲

传媒

  • 1篇计量与测试技...

年份

  • 1篇2007
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
基于单晶硅的压阻效应的超小型压力传感器被引量：1
2007年
利用单晶硅的压阻效应原理,采用先进的半导体平面工艺、微机械加工工艺、温度补偿及固态集成工艺研制了一种超小型压力传感器。该传感器采用敏感元件与信号处理电路一体化结构,产品在制作过程中经过严格的工艺检验和环境性能试验。证明具有体积小、精度高、稳定性好、测量范围宽等特点,可以广泛用于石油、冶金、化工、航空、航天、武器装备等领域压力的测量和控制。
王香文陈玲
关键词：压阻效应传感器微机电系统
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