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何晶晶
作品数:
1
被引量:3
H指数:1
供职机构:
苏州大学物理科学与技术学院(能源学院)物理学系
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发文基金:
苏州市科技计划项目
国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
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合作作者
诸葛兰剑
苏州大学分析测试中心
葛水兵
苏州大学物理科学与技术学院能源...
吴雪梅
苏州大学物理科学与技术学院能源...
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磁控溅射
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作者
1篇
吴雪梅
1篇
葛水兵
1篇
诸葛兰剑
1篇
何晶晶
传媒
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微纳电子技术
年份
1篇
2010
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绒面掺铝氧化锌透明导电薄膜研究进展
被引量:3
2010年
绒面掺铝氧化锌(AZO)透明导电薄膜由于电阻率低、在可见光区域透过率高、绒面结构能有效散射入射光,提高太阳电池光电转换效率,被广泛应用于太阳电池前电极。概述了绒面AZO薄膜的制备方法,重点介绍了磁控溅射技术沉积AZO薄膜后再进行湿法刻蚀制绒面方法,制备的样品呈现"坑状"或"类月球地貌"的绒面,并讨论了工艺对薄膜结构、光电性能和刻蚀行为的影响,最后介绍了绒面AZO薄膜在硅薄膜太阳电池中的应用,进一步降低生产成本和实现大规模产业化生产是绒面AZO薄膜的发展趋势。
何晶晶
吴雪梅
诸葛兰剑
葛水兵
关键词:
透明导电薄膜
磁控溅射
湿法刻蚀
太阳电池
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