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何晶晶

作品数:1 被引量:3H指数:1
供职机构:苏州大学物理科学与技术学院(能源学院)物理学系更多>>
发文基金:苏州市科技计划项目国家自然科学基金更多>>
相关领域:电子电信更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇导电薄膜
  • 1篇电池
  • 1篇湿法刻蚀
  • 1篇太阳电池
  • 1篇透明导电
  • 1篇透明导电薄膜
  • 1篇刻蚀
  • 1篇溅射
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射

机构

  • 1篇苏州大学
  • 1篇江苏省薄膜材...

作者

  • 1篇吴雪梅
  • 1篇葛水兵
  • 1篇诸葛兰剑
  • 1篇何晶晶

传媒

  • 1篇微纳电子技术

年份

  • 1篇2010
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
绒面掺铝氧化锌透明导电薄膜研究进展被引量:3
2010年
绒面掺铝氧化锌(AZO)透明导电薄膜由于电阻率低、在可见光区域透过率高、绒面结构能有效散射入射光,提高太阳电池光电转换效率,被广泛应用于太阳电池前电极。概述了绒面AZO薄膜的制备方法,重点介绍了磁控溅射技术沉积AZO薄膜后再进行湿法刻蚀制绒面方法,制备的样品呈现"坑状"或"类月球地貌"的绒面,并讨论了工艺对薄膜结构、光电性能和刻蚀行为的影响,最后介绍了绒面AZO薄膜在硅薄膜太阳电池中的应用,进一步降低生产成本和实现大规模产业化生产是绒面AZO薄膜的发展趋势。
何晶晶吴雪梅诸葛兰剑葛水兵
关键词:透明导电薄膜磁控溅射湿法刻蚀太阳电池
共1页<1>
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