罗畅
- 作品数：1 被引量：4H指数：1
- 供职机构：福州大学材料科学与工程学院更多>>
- 发文基金：福建省自然科学基金更多>>
- 相关领域：理学一般工业技术更多>>
- 制备工艺对氧化钨电致变色薄膜性能的影响被引量：4
- 2012年
- 采用WO3陶瓷靶,运用射频反应磁控溅射工艺,通过正交试验方法优化实验参数,制备出性能优异的WO3电致变色薄膜,通过对薄膜进行真空热处理,提高了薄膜变色存储能力。结果表明,氧分量为60%、压强为2.5Pa、功率为145W时制备的薄膜,对光调制幅度(ΔT)达89.3%。适度温度真空热处理可改善薄膜性能,着色率略有提高,变色存储时间增加(达32h),离子存储能力增大(达3.96mC/cm2),循环稳定性能良好,同时热处理使薄膜晶化,密度增加,变色响应时间增加。
- 罗畅周白杨黄涛吴武地
- 关键词：WO3薄膜射频反应磁控溅射真空热处理电致变色
