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袁丁
作品数:
1
被引量:1
H指数:1
供职机构:
中国电子科技集团公司第四十五研究所
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相关领域:
电子电信
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合作作者
张克佳
中国电子科技集团公司第四十五研...
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张克佳
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袁丁
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电子工业专用...
年份
1篇
2016
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GEM标准在CMP系统上的应用
被引量:1
2016年
以当代最先进的自动化工厂(FA)走势为依据,结合化学机械抛光(CMP)系统的实际应用需求,提出了解决工业自动化通信协议SECS\GEM的应用问题。叙述了GEM的通信状态、控制状态和实现GEM的设计思路,并举例说明了GEM中的消息配方。实践表明,我国自动化设备领域对GEM的需求是非常迫切的。
袁丁
张克佳
关键词:
工厂自动化
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