2025年3月26日
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许震
许震
作品数:
5
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供职机构:
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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相关领域:
自动化与计算机技术
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合作作者
宋志棠
中国科学院上海微系统与信息技术...
刘波
中国科学院上海微系统与信息技术...
王维维
中国科学院上海微系统与信息技术...
雷宇
中国科学院上海微系统与信息技术...
高丹
中国科学院上海微系统与信息技术...
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文献类型
5篇
中文专利
领域
1篇
自动化与计算...
主题
3篇
电极
2篇
导电
2篇
电学隔离
2篇
叠层
2篇
叠层结构
2篇
多态
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区分度
2篇
相变材料
2篇
相变存储
2篇
相变存储器
2篇
料层
2篇
绝缘
2篇
绝缘层
2篇
基板
2篇
层结构
2篇
存储器
1篇
电极表面
1篇
引出电极
1篇
相变
1篇
孔结构
机构
5篇
中国科学院
作者
5篇
宋志棠
5篇
许震
3篇
刘波
2篇
陈后鹏
2篇
高丹
2篇
雷宇
2篇
王维维
1篇
封松林
年份
2篇
2019
2篇
2017
1篇
2016
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三维非易失性存储器件及其制造方法
本发明提供一种三维非易失性存储器件及其制备方法,三维非易失性存储器件的制备方法包括如下步骤:1)提供一基板,于基板表面形成第一绝缘层和第一导电层交替叠置的第一叠层结构;2)于所述第一叠层结构的至少一侧形成与所述第一叠层结...
雷宇
陈后鹏
许震
宋志棠
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包含部分限定型相变材料结构的相变存储单元及制作方法
本发明提供一种包含部分限定型相变材料结构的相变存储单元及制作方法,包括:1)提供衬底,在衬底内形成至少一个下电极;2)在下电极的上表面形成加热电极,在加热电极之间的衬底表面形成第一绝缘材料层;3)采用回刻工艺刻蚀去除部分...
刘波
宋志棠
许震
封松林
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多态相变存储器单元器件及其制备方法
本发明提供一种多态相变存储器单元器件及其制备方法,包括:上电极;下电极;相变材料层结构,位于所述上电极与所述下电极之间;所述相变材料层结构包括至少两层具有不同电阻值的相变材料层,各层所述相变材料层之间电学隔离;所述相变材...
许震
刘波
高丹
王维维
宋志棠
詹奕鹏
三维非易失性存储器件及其制造方法
本发明提供一种三维非易失性存储器件及其制备方法,三维非易失性存储器件的制备方法包括如下步骤:1)提供一基板,于基板表面形成第一绝缘层和第一导电层交替叠置的第一叠层结构;2)于所述第一叠层结构的至少一侧形成与所述第一叠层结...
雷宇
陈后鹏
许震
宋志棠
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多态相变存储器单元器件及其制备方法
本发明提供一种多态相变存储器单元器件及其制备方法,包括:上电极;下电极;相变材料层结构,位于所述上电极与所述下电极之间;所述相变材料层结构包括至少两层具有不同电阻值的相变材料层,各层所述相变材料层之间电学隔离;所述相变材...
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刘波
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