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赵乐发
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1
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供职机构:
渤海大学数理学院物理系
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相关领域:
一般工业技术
金属学及工艺
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合作作者
孙冰
渤海大学数理学院物理系
李明标
辽宁大学物理学院
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2008
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反应气压对生长金刚石膜的影响
2008年
实验以CH3CH2OH和H2为气源,用微波等离子体CVD法沉积金刚石膜,并用金相显微镜(×400)观察其沉积效果,X射线衍射仪表征其成膜质量,最后分析反应气压对金刚石膜的影响。
孙冰
李明标
赵乐发
关键词:
微波等离子体
金刚石膜
金相显微镜
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