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阎绍潭

作品数：1 被引量：3H指数：1
供职机构：清华大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金黑龙江省自然科学基金更多>>
相关领域：机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程

主题

  • 1篇序体
  • 1篇阵列
  • 1篇齐次坐标
  • 1篇齐次坐标变换
  • 1篇光刻
  • 1篇光刻机

机构

  • 1篇东北林业大学
  • 1篇清华大学

作者

  • 1篇赵强
  • 1篇阎绍潭

传媒

  • 1篇清华大学学报...

年份

  • 1篇2010
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
光刻机精密运动平台的几何及运动误差建模被引量：3
2010年
为了提高光刻机硅片台和掩模台的运动精度,建立光刻机精密运动平台的几何及运动误差模型。引入低序体阵列描述光刻机的拓扑结构,采用齐次坐标变换表达多体系统中典型体的几何和运动误差,应用多体系统运动学建立了系统的结构和运动关系以及相应的定位误差方程。进一步分析了光刻机的运动误差链,推导了光刻机运动通用误差模型。以某光刻机精密工作台为例进行误差建模与分析,该方法和结果可为光刻机精度设计提供参考。
赵强阎绍潭
关键词：光刻机齐次坐标变换
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