2025年2月8日
星期六
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韦江龙
作品数:
22
被引量:1
H指数:1
供职机构:
中国科学院合肥物质科学研究院
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
化学工程
医药卫生
理学
电气工程
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合作作者
谢亚红
中国科学院合肥物质科学研究院
顾玉明
中国科学院合肥物质科学研究院
谢远来
中国科学院合肥物质科学研究院
胡纯栋
中国科学院合肥物质科学研究院
李军
中国科学院合肥物质科学研究院
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作者
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韦江龙
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谢亚红
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一种真空抽气系统
本发明公开了一种真空抽气系统,包括有等离子体腔室、等离子驱动源、真空泵和多段连接管道,真空泵的进气管与被抽工件之间通过真空管道连接,且真空管道上设置等离子体腔室,等离子体腔室内在等离子体驱动源的激励作用下产生等离子体,其...
李军
凌必利
胡纯栋
吴斌
张洪明
吕波
谢远来
谢亚红
韦江龙
顾玉明
许永建
蒋才超
盛鹏
一种可调节自力式真空安全阀
本发明公开了一种可调节自力式真空安全阀,包括阀体、密封圈、阀板、助力装置、阀帽、拉杆、拉环。本发明体积较小,结构简单,材料普通,真空密封性能良好,工作稳定可靠;阀体可做成不同形状和大小,接口亦可根据需要选择不同规格类型,...
邑伟
谢远来
严德志
卜铝阳
崔庆龙
韦江龙
顾玉明
田焜
一种射频离子源法拉第屏蔽筒制造方法及模具
本发明提供一种射频离子源法拉第屏蔽筒制造方法及模具,所述方法包括:制作法拉第屏蔽筒圆板基材;在模具中加载圆板基材,进行法拉第屏蔽筒压制成型;将压制好的法拉第屏蔽筒从模具脱模;最终将进出水管和侧壁缝隙采用真空钎焊焊接成型,...
顾玉明
谢亚红
韦江龙
李军
谢远来
胡纯栋
梁立振
邑伟
蒋才超
许永建
文献传递
一种射频离子源启动灯丝装置
本实用新型提供一种射频离子源启动灯丝装置,包括进气管、上法兰绝缘压板、上法兰盖板、压紧螺栓、下法兰绝缘压板、钼棒、绝缘陶瓷、固定钼座、钼座法兰、真空密封圈、冷却水管和法兰盖板;所述进气管和钼座法兰及钼棒焊接成一体安装在下...
顾玉明
谢亚红
韦江龙
李军
谢远来
胡纯栋
梁立振
蒋才超
许永建
邑伟
文献传递
一种真空抽气系统
本发明公开了一种真空抽气系统,包括有等离子体腔室、等离子驱动源、真空泵和多段连接管道,真空泵的进气管与被抽工件之间通过真空管道连接,且真空管道上设置等离子体腔室,等离子体腔室内在等离子体驱动源的激励作用下产生等离子体,其...
李军
凌必利
胡纯栋
吴斌
张洪明
吕波
谢远来
谢亚红
韦江龙
顾玉明
许永建
蒋才超
盛鹏
文献传递
一种真空低温传输管
本发明公开了一种真空低温传输管,包括低温过渡管、顶部封头结构、中间波纹管结构、过渡法兰管、绝缘法兰、底部真空筒体。本发明结构简单,安装拆卸方便,与其他的低温输液管线相比,它具有很强的真空密封性,可与真空室相连,从而具有超...
邑伟
谢远来
韦江龙
崔庆龙
顾玉明
唐宁
崔志伟
一种内置天线射频离子源
本实用新型公开了一种内置天线射频离子源,主体由真空腔体、大于等于两匝金属管绕成的天线线圈和绝缘保持架组成,所述的天线线圈通过绝缘保持架绝缘分隔固定,且天线线圈呈平行状态排列布置在真空腔体内,绝缘保持架填充天线线圈间的空隙...
蒋才超
李军
胡纯栋
谢亚红
吴斌
赵鹏
刘胜
韦江龙
顾玉明
刘玲
王进芳
文献传递
一种陶瓷水冷无法拉第桶射频离子源
本实用新型公开了一种陶瓷水冷无法拉第桶射频离子源,包括有双层陶瓷筒,所述的双层陶瓷筒的内侧与外层中间空隙为冷却水道,在双层陶瓷筒的外侧缠绕有射频线圈,在双层陶瓷筒的上端和下端分别设有与冷却水道相通的进水口和出水口,双层陶...
顾玉明
韦江龙
谢亚红
李军
谢远来
梁立振
蒋才超
许永建
文献传递
一种用于超高真空环境下的密封圈密封结构
本发明提供一种用于超高真空环境下的密封圈密封结构,其包括密封圈、引出水管、压紧螺母、盖板。所述密封圈为截面为L形状的圆环状密封圈,设置在引出水管和盖板之间;通过将所述压紧螺母拧紧以挤压密封圈形成真空密封,所述压紧螺母与盖...
顾玉明
谢远来
韦江龙
李军
谢亚红
梁立振
邑伟
许永建
文献传递
一种无法拉第筒的氮化硅陶瓷主动冷却射频离子源装置
本实用新型提供一种无法拉第筒的氮化硅陶瓷主动冷却射频离子源装置,包括进气装置、固定法兰、射频离子源盖板、氮化硅陶瓷水冷桶、上支撑法兰、下支撑法兰和射频线圈;所述氮化硅陶瓷水冷桶包括氮化硅陶瓷材质的内壁和外壁,所述内壁和外...
顾玉明
谢亚红
韦江龙
李军
谢远来
梁立振
邑伟
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