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周林

作品数:2 被引量:3H指数:1
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所更多>>
发文基金:国防科技技术预先研究基金更多>>
相关领域:电子电信更多>>

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 2篇电子电信

主题

  • 2篇统计模型
  • 2篇响应曲面
  • 2篇响应曲面法
  • 1篇微组装
  • 1篇稳健性
  • 1篇键合
  • 1篇键合工艺
  • 1篇工艺过程
  • 1篇RSM
  • 1篇AU
  • 1篇DOE

机构

  • 2篇中国工程物理...

作者

  • 2篇李中云
  • 2篇周林

传媒

  • 1篇半导体技术
  • 1篇电子工艺技术

年份

  • 2篇2014
2 条 记 录,以下是 1-2
排序方式:
基于RSM的Au丝球形键合工艺稳健性参数优化被引量:1
2014年
在Au丝热超声球形键合工艺中,焊点的特征(如球径和键合强度)取决于工艺参数值的选择。为了研究关键工艺参数超声振幅、键合时间和压力对键合形成的影响,进而找到最优的键合参数,采用响应曲面法(RSM)并结合工艺稳健性和多响应优化的思想,建立了关键参数与响应之间的统计模型,优化了键合参数。首先,以焊球直径和剪切力的均值与方差作为目标响应,建立其与工艺参数之间的响应曲面模型。然后,采用满意度函数法(DFA)得到总体满意度最大的解,即最优的工艺参数组合。最后,通过试验验证了该方法的有效性。
周林李中云
关键词:稳健性统计模型
基于DOE的微组装工艺过程的统计表征与优化被引量:2
2014年
随着微组装工艺技术和设备的发展,许多先进工艺涉及多个输入参数和输出响应,而且参数间具有不同程度交互作用,使得传统的以经验为主的试误法或一次改变一个参数的试验方法并不能满足这些先进工艺的要求。利用实验设计技术,通过建立关键工艺参数与输出响应之间的统计模型,实现了对微组装中金丝球形键合工艺过程的统计表征。试验结果表明,该模型的预测值与实测值吻合较好,可进一步用于工艺过程的设计与参数优化。
周林李中云
关键词:响应曲面法统计模型
共1页<1>
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