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柏洋
作品数:
2
被引量:13
H指数:2
供职机构:
苏州大学物理科学与技术学院(能源学院)物理学系
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发文基金:
江苏省“青蓝工程”基金
国家磁约束核聚变能发展研究专项
国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
核科学技术
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合作作者
赵岩
苏州大学物理科学与技术学院能源...
诸葛兰剑
苏州大学物理科学与技术学院能源...
金成刚
苏州大学物理科学与技术学院能源...
吴雪梅
苏州大学物理科学与技术学院能源...
余涛
苏州大学物理科学与技术学院能源...
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文献类型
2篇
中文期刊文章
领域
1篇
电子电信
1篇
核科学技术
主题
2篇
等离子体
1篇
等离子
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等离子体诊断
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荧光
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螺旋波
1篇
刻蚀
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火箭
1篇
火箭推进
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激光
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激光器
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激光诱导荧光
1篇
光诱导
1篇
半导体
1篇
半导体激光
1篇
半导体激光器
1篇
磁场
机构
2篇
苏州大学
作者
2篇
吴雪梅
2篇
金成刚
2篇
诸葛兰剑
2篇
柏洋
2篇
赵岩
1篇
余涛
传媒
1篇
激光与红外
1篇
微纳电子技术
年份
1篇
2012
1篇
2011
共
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高密度螺旋波等离子体源的应用进展
被引量:7
2011年
首先介绍了螺旋波的定义、螺旋波等离子体源产生等离子体所需条件的工作范围以及螺旋波等离子体源主要的一些应用。按照所加磁场范围的不同(分为在磁感应强度为100~1 600Gs和在强磁场中两部分),分别进一步讨论了国内外各研究小组研制的等离子体源的运行参数及技术特点。随后介绍了螺旋波等离子体源在刻蚀、薄膜沉积和火箭推进三个方面的应用进展。其中重点介绍了螺旋波等离子体火箭推进。最后简单展望了螺旋波等离子体源的应用前景,并指出其发展中尚待解决的一些问题。
柏洋
赵岩
金成刚
余涛
吴雪梅
诸葛兰剑
关键词:
螺旋波
等离子体源
磁场
刻蚀
火箭推进
激光诱导荧光在低温等离子体诊断中的应用
被引量:6
2012年
激光诱导荧光技术(LIF)应用到等离子体中已经有超过20年的历史,在等离子体处理中的应用也已经持续了十多年。激光诱导荧光系统可以用于刻蚀、溅射以及薄膜沉积等离子体源的诊断研究。离子密度和速度分布及对流、传播参数等,都可以用LIF直接测量或间接计算得到。LIF可以得到时间分辨和空间分辨的离子分布方程,可用于等离子体热力学和等离子体迁移的研究。
赵岩
柏洋
金成刚
吴雪梅
诸葛兰剑
关键词:
激光诱导荧光
等离子体诊断
半导体激光器
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