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刘广利

作品数:1 被引量:3H指数:1
供职机构:燕山大学亚稳材料制备技术与科学国家重点实验室更多>>
发文基金:河北省自然科学基金更多>>
相关领域:化学工程更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇化学工程

主题

  • 1篇压痕
  • 1篇气相沉积
  • 1篇力学性能
  • 1篇纳米
  • 1篇纳米压痕
  • 1篇化学气相
  • 1篇化学气相沉积
  • 1篇浮法
  • 1篇浮法玻璃
  • 1篇复合膜
  • 1篇残余应力
  • 1篇力学性

机构

  • 1篇燕山大学

作者

  • 1篇杨雪梅
  • 1篇张福成
  • 1篇蔡永秀
  • 1篇赵洪力
  • 1篇刘广利

传媒

  • 1篇硅酸盐学报

年份

  • 1篇2006
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
浮法玻璃在线镀复合膜的力学性能被引量:3
2006年
用化学气相沉积法在浮法玻璃上制备了复合薄膜。用台阶仪、纳米压痕和X射线衍射分别测定了薄膜厚度、弹性模量、纳米硬度和室温时薄膜的残余应力。实验结果表明:薄膜厚度为560.7nm,弹性模量为48.33GPa,纳米硬度值为10.65GPa,计算得到薄膜的残余应力值为-0.19GPa。对膜厚、气体的配比、流量、玻璃板的厚度、玻璃基体的化学成分等因素对薄膜残余应力的影响进行了讨论。
赵洪力蔡永秀杨雪梅刘广利张福成
关键词:浮法玻璃化学气相沉积复合膜纳米压痕残余应力
共1页<1>
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