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柳铮

作品数：9 被引量：10H指数：2
供职机构：清华大学更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术电气工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 6篇专利
  • 2篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 3篇电子电信
  • 2篇自动化与计算...
  • 1篇电气工程

主题

  • 4篇掩模
  • 4篇模片
  • 2篇动态性能
  • 2篇压电
  • 2篇压电陶瓷
  • 2篇运动控制
  • 2篇运动控制模块
  • 2篇散射
  • 2篇散射现象
  • 2篇准直
  • 2篇系统架构
  • 2篇控制模块
  • 2篇控制系统
  • 2篇蓝光
  • 2篇基片
  • 2篇架构
  • 2篇隔振
  • 2篇管结构
  • 2篇靶材
  • 2篇变频

机构

  • 9篇清华大学

作者

  • 9篇柳铮
  • 6篇张震
  • 6篇闫鹏
  • 2篇刘文华
  • 1篇宋强
  • 1篇陈远华
  • 1篇郭立

传媒

  • 2篇电力电子技术

年份

  • 1篇2021
  • 2篇2020
  • 3篇2018
  • 2篇2006
  • 1篇2005
共 9 条 记 录，以下是 1-9
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排序方式：
一种基于柔性运动系统的蓝光微立体光固化系统
本发明公开一种基于柔性运动系统的蓝光微立体光固化系统，所述基于柔性运动系统的蓝光微立体光固化系统包含：计算机系统（三维模型处理模块、运动控制模块）；运动系统（L形基座、X‑Y轴并联柔性纳米运动平台、Z轴移动平台、载物吸盘...
张震柳铮闫鹏鲁帅帅
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用于直写式真空蒸发系统的掩模-基片间距控制系统
本发明公开了一种用于直写式真空蒸发系统的掩模‑基片间距控制系统。所述间距控制结构包括：基座；压电陶瓷Z轴移动平台，所述压电陶瓷Z轴移动平台位于基座下方中心部，与基座固接；掩模基座，所述掩模基座位于所述压电陶瓷移动平台的上...
张震柳铮闫鹏鲁帅帅
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新型阶梯式准直管结构
本发明公开了一种应用于直写式真空蒸发系统的防掩模孔堵塞及避免粒子散射现象的新型阶梯式准直管结构。所述阶梯式准直管结构包括：基座，掩模片，准直管；第一粒子反射阻挡台阶，所述第一粒子反射阻挡台阶处于准直管内上部，并与准直管上...
张震柳铮闫鹏鲁帅帅
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四象限运行逆变器功率控制研究
柳铮
关键词：空间矢量调制功率控制
高压变频器的起动及瞬时停电控制被引量：2
2006年
为提高大功率高压变频器在风机水泵类负载应用中的起动性能,提出了基于变频器输出电流反馈的起动控制方法;同时为保证变频器在电源瞬时停电条件下能够连续运行,给出了一种基于变频器直流电容电压反馈的闭环控制方法,并分析了其适用条件。仿真和试验结果验证了上述方法的正确性。
郭立陈远华刘文华柳铮
关键词：变频器起动反馈控制
一种用于直写式真空蒸发系统的阶梯式准直管结构
本发明公开了一种应用于直写式真空蒸发系统的防掩模孔堵塞及避免粒子散射现象的新型阶梯式准直管结构。所述阶梯式准直管结构包括：基座，掩模片，准直管；第一粒子反射阻挡台阶，所述第一粒子反射阻挡台阶处于准直管内上部，并与准直管上...
张震柳铮闫鹏鲁帅帅
50kVA机车空调变频电源被引量：7
2006年
提出了一种以TMS320LF2407A和XC2S200为核心的控制器和以IGBT为主开关器件的电力机车车载50kVA空调变频电源的设计方案,并研制了实验样机。实现了V/F恒定启动、稳压稳频正常运行和降压降频欠压运行的功能。介绍了该变频电源的硬件结构、工作原理、故障保护方案及控制器设计。实验表明,该样机符合电力机车车载50kVA空调变频电源的设计要求。
柳铮宋强刘文华
关键词：电力机车空调变频器电源
一种基于柔性运动系统的蓝光微立体光固化系统
本发明公开了一种基于柔性运动系统的蓝光微立体光固化(MSL，Micro Stereo Lithography)系统，所述基于柔性运动系统的蓝光MSL系统包含：计算机系统(三维模型处理模块、运动控制模块)；运动系统(L形基...
张震柳铮闫鹏鲁帅帅
用于直写式真空蒸发系统的掩模-基片间距控制系统
本发明公开了一种用于直写式真空蒸发系统的掩模‑基片间距控制系统。所述间距控制结构包括：基座；压电陶瓷Z轴移动平台，所述压电陶瓷Z轴移动平台位于基座下方中心部，与基座固接；掩模基座，所述掩模基座位于所述压电陶瓷移动平台的上...
张震柳铮闫鹏鲁帅帅
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