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王惠卿

作品数：1 被引量：6H指数：1
供职机构：长春理工大学研究生院更多>>
发文基金：国防科技技术预先研究基金更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇旋涂
  • 1篇涂布
  • 1篇涂胶
  • 1篇均匀性
  • 1篇光刻
  • 1篇光刻胶

机构

  • 1篇长春理工大学
  • 1篇中国科学院长...

作者

  • 1篇梁凤超
  • 1篇赵晶丽
  • 1篇冯晓国
  • 1篇王惠卿

传媒

  • 1篇应用光学

年份

  • 1篇2009
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
凹球面涂布光刻胶均匀性研究被引量：6
2009年
通过对离心法在凹球面上涂布光刻胶过程进行分析,阐明了离心状态下光刻胶在凹球面基底上的流动机理,结合试验提出影响凹球面涂布光刻胶膜厚均匀性的主要因素有胶液粘度、旋涂速度、旋涂时间,列举了以上因素引起的各种现象,并进行了理论分析。引用凹球面旋涂光刻胶的膜厚公式,建立了膜厚与速度关系数学模型;利用流体力学原理解释了有限圆形空间中流体速度对膜层均匀性的影响,从而解决了大曲率凹球面上制备微细图形结构的关键工艺问题,对非球面上制备微细图形具有借鉴作用。
赵晶丽王惠卿冯晓国梁凤超
关键词：光刻胶涂胶旋涂
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