章晨曦
- 作品数：1 被引量：3H指数：1
- 供职机构：西安理工大学材料科学与工程学院更多>>
- 发文基金：国家教育部博士点基金更多>>
- 相关领域：电子电信更多>>
- 热处理气氛对溶胶凝胶法制备CuAlO_2薄膜的影响被引量：3
- 2013年
- 采用溶胶凝胶法,通过控制热处理气氛在石英玻璃基片上制备了光电性能优良的CuAlO2薄膜,研究了氧气和氮气对CuAlO2薄膜制备的影响。结果表明,CuAlO2薄膜的制备先后经历了凝胶膜的热分解、无定形薄膜、固相反应、CuAlO2形核与长大4个过程。固相反应阶段前通氧气,能够促进中间产物CuO的生成,之后通氮气可以使中间产物CuO与CuAl2O4发生固相反应生成CuAlO2,最终制备的CuAlO2薄膜结晶状况良好、晶粒较大,表面均匀致密,没有孔洞,电阻率为250Ω.cm,薄膜在700 nm处的透过率为75.5%。
- 任洋赵高扬李颖章晨曦高贇刘灵军
- 关键词：溶胶凝胶
