史振广
- 作品数：13 被引量：70H指数：7
- 供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
- 发文基金：国家科技重大专项国家自然科学基金中国科学院长春光学精密机械与物理研究所创新工程资助项目更多>>
- 相关领域：机械工程理学自动化与计算机技术电子电信更多>>
- 干涉仪光学系统
- 本发明提供的一种干涉仪光学系统，包括光源、聚光镜、滤光片、视场光阑、分光镜、准直镜、移相器、显微物镜、电荷耦合元件，所述光源发出的光线依次经过所述聚光镜、所述滤光片、所述视场光阑、所述分光镜、所述准直镜、所述移相器、进入...
- 王飞史振广田伟隋永新
- 文献传递
- 高精度曲率半径测量研究被引量：11
- 2014年
- 由于影响曲率半径测量精度的因素众多,因此高精度曲率半径测量一直是光学检测中的难题之一。为了实现球面光学元件曲率半径的高精度测量,提出通过环境补偿和提高对准精度的方法来减小测量误差。首先从理论的角度分析了影响曲率半径检测精度的主要因素,并给出了在曲率半径测量过程中减小测量误差的方法以及相应的补偿方式。基于此分析,在高精度实验室中采用菲佐干涉仪结合高精度测长干涉仪的干涉测量方式,分别对典型的凸球面和凹球面光学元件进行了曲率半径检测。实验结果表明:通过环境补偿和提高对准精度的方法,曲率半径检测的复现性优于0.2μm,实际测得的相对误差分别为0.67×10^(-6)(2σ)和0.60×10^(-6)(2σ),实现了高精度曲率半径测量。
- 彭石军苗二龙史振广陈华隋永新杨怀江
- 关键词：曲率半径环境补偿
- 曲率半径的高精度测量及其不确定度被引量：7
- 2013年
- 为了高精度测量光学元件的曲率半径,提出了一种利用反射式计算全息元件结合波长移相干涉测长技术测量光学球面曲率半径的方法。测试中,将反射式计算全息元件作为基准来标定所用标准镜头参考面的曲率半径,利用波长移相干涉技术测量干涉腔腔长,通过计算分析得到被测元件的曲率半径。文中描述了该方法的系统构成及其工作原理。结合实例,运用理论分析与软件仿真模拟分析了方法的测量不确定度。最后,利用实验室现有的商用波长移相干涉仪进行了实验验证。对一口径为100mm的球面样品进行曲率半径的测量,得到的结果为157.108 3mm;利用接触式球径仪法对同一样品进行对比测量,结果显示相对误差小于0.02%。与其它目前已有的非接触式曲率半径测量方法相比,提出的方法具有误差源少、测量精度高、易于操作等优点。
- 田志辉史振广刘伟奇杨怀江隋永新
- 关键词：光学元件计算全息
- 基于可调滤波改进互信息的遥感图像配准
- 2009年
- 为了减少基于互信息的图像配准方法中插值效应对配准精度的影响,提出一种用可调滤波改进互信息的配准方法,通过用可调滤波提取图像的全部方位结构信息特征进行互信息的估计.理论分析和实验结果表明该方法可以明显减少插值效应的影响,提高配准的精度,对遥感图像的配准结果也令人满意.
- 史振广田铮
- 关键词：图像配准互信息
- 前馈控制算法校正相移微动台非线性运动被引量：10
- 2014年
- 压电陶瓷具有推力大,响应速度快,分辨率高和能耗低等优点,但其形变量小,所以需要位移放大机构对其形变量进行放大,实现长行程高分辨率位移。针对压电陶瓷作为驱动器,柔性铰链位移放大装置作为导向机构的相移微动台运动存在非线性问题,采用多项式模型对其位移特性进行建模,通过求解逆多项式获得使其线性运动非线性电压,利用实验对非线性运动校正结果进行验证。实验结果表明,所采用前馈控制算法可以很好的校正相移微动台非线性运动,校正后相移台在x,y方向产生的最大相移误差为4°与3.2°,满足高精度相移干涉测量对相移台相移误差要求。
- 张春雷刘健王绍治史振广代雷彭利荣向阳
- 关键词：压电陶瓷柔性铰链相移误差
- 菲索干涉仪中精确移相的实现被引量：6
- 2013年
- 为了实现移相式菲索干涉仪对光学元件面形的高精度测量,建立了干涉仪同步采集移相系统,并对精确移相方法进行了研究。介绍了移相系统的构成和工作原理,计算了测量过程中移相器的速度。针对PZT移相器在移相过程中会引入离焦误差,并存在加速段和减速段的问题,详细设计了移相器的行进过程。最后,对移相器的性能进行了标定。在改造后的干涉仪上开展了重复性验证实验,结果表明:干涉仪可以获得λ/11 340的RMS测量重复性。对改造后干涉仪与Zygo公司生产的Verifire XP/D干涉仪的测量精度做了比对实验,结果显示:相同元件下两者测量结果的面形RMS之差约为0.9 nm,表明提出的移相系统及移相方法在重复性和准确度方面都能满足纳米级面形测量的要求,为研制高精度移相干涉仪奠定了基础。
- 苏志德史振广彭吉隋永新杨怀江
- 关键词：同步采集面形测量
- 干涉检测中环境温度引起的镜面变形分析被引量：12
- 2011年
- 在达到1nm量级的光学元件表面面形干涉检验时,被检元件由温度变化引起的面形偏差是不能忽略的。分析了干涉检验时存在的各种环境温度情况,对不同情况下被检元件内外温度分布进行了仿真,并将温度场作为静力学分析的载荷条件,进行了镜面温度变形分析。计算出了带支撑的直径为300mm凸球面透镜在不同温度分布下的镜面变形量,并通过球面拟合计算出面形的峰谷(PV)值和均方根(RMS)值,得出要保证1nm精度的面形测量就需要保证环境温度水平漂移不超过±0.1℃,镜子轴向温度差不超过±0.05℃,直径方向温度差不超过±0.1℃的结论,为高精度面形检测的实施提供了参考。
- 陈华史振广隋永新杨怀江
- 关键词：光学检测凸透镜热变形环境温度有限元法
- 高精度6inchF/5.4球面标准具结构研究与设计
- 2011年
- 193nm光刻投影物镜光学元件面形精度为纳米级,因此要求检测精度为纳米到亚纳米级。在高精度的光学元件面形检测中,为了保证检测的精度,干涉仪标准球面镜的精度要优于λ/40。根据检测要求,设计了一种新的标准镜装卡结构。采用有限元方法分析了参考面在重力作用下的面形变化情况,其最大面变形变化峰谷(PV)值仅为4.88nm,均方根(RMS)值为1.04nm。同时对不同环境温度下参考面的变形进行了计算得出面形的峰谷值和均方根值。利用标准具面形的Zernike系数,得到了标准具系统的MTF,以实现标准具在重力作用下的像质评价。结果表明,所设计的标准具的结构可以满足标准具的设计要求。最后设计了差动螺钉驱动误差补偿机构。
- 田伟史振广隋永新杨怀江
- 关键词：应用光学光学检测有限元法
- 在随机和倾斜移相下光强归一化的迭代移相算法被引量：7
- 2013年
- 由于存在振动和导向误差,干涉仪移相器在移相过程中产生随机的平移误差和倾斜误差,会给测量结果带来影响。因此高精度测量中对环境的稳定性和移相器的性能要求很苛刻。为了降低此种要求,针对随机和倾斜移相下干涉图背景光强和调制度的不均匀会影响移相平面计算的问题,对采集得到的干涉图做归一化处理,并利用迭代最小二乘法对归一化的干涉图做相位求解。迭代过程中,将干涉图分块来求解移相值,并对各移相值做平面拟合得到移相平面。仿真结果表明,该方法消除了背景光强和调制度的不均匀对倾斜系数计算的耦合作用,能够有效补偿倾斜移相误差对面形相位的影响,与其他方法相比,具有收敛速度快、求解精度高的特点。实验结果进一步验证了该方法的有效性。
- 苏志德史振广苏东奇隋永新杨怀江
- 关键词：干涉仪迭代算法
- 基于FKICA-SIFT特征的合成孔径图像多尺度配准被引量：12
- 2011年
- 针对合成孔径(SAR)图像的配准,提出一种基于仿射不变快速核独立成分分析-尺度不变特征变换(FKICA-SIFT)的多尺度配准方法。首先,根据特征点的Hessian矩阵构建仿射不变SIFT描述子。接着,利用FKICA提取该描述子的独立成分得到新的描述子FKICA-SIFT。然后,利用该描述子对Steerable滤波后的各层带通合成子图像提取的特征点进行匹配。最后,采用由粗到细的匹配策略逐步优化变换参数,实现图像的多尺度精确配准。实验结果表明,对有较大仿射变化的SAR图像,当阈值小于0.7时,该方法的匹配正确率大于85%,阈值小于0.5时,匹配正确率可达90%以上,配准精度达到亚像素水平,优于SIFT,PCA-SIFT,ICA-SIFT及SURF等相关方法。使用该方法准确地检测出了地震前后唐家山堰塞湖水域的变化情况,基本满足了SAR图像变换检测前精确配准的要求。
- 刘向增田铮史振广陈占寿
- 关键词：图像配准合成孔径雷达图像尺度不变特征变换
