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刘俊明

作品数：1 被引量：2H指数：1
供职机构：西安交通大学机械工程学院机械制造系统工程国家重点实验室更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇压印
  • 1篇印模
  • 1篇微压
  • 1篇MMI

机构

  • 1篇西安交通大学

作者

  • 1篇蒋庄德
  • 1篇王海容
  • 1篇周志涛
  • 1篇张英
  • 1篇刘俊明

传媒

  • 1篇压电与声光

年份

  • 1篇2008
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
MMI微压印模板的设计与研究被引量：2
2008年
微纳米压印技术作为代替传统光刻的一种新兴技术,有着重要的应用潜力。近年来在直接加工微器件如微流体、微生物器件,特别是在微平面光学器件方面得到了较快的发展。采用微压印法直接加工聚合物微平面光学器件是一个具有实用价值和研究价值的课题。该文首先讨论并选取了聚甲基丙稀酸甲酯(PMMA),研究了聚合物多模干涉(MMI)耦合器器件的微压印模板的设计和加工,讨论了压印模板材料的影响。根据典型基于MMI聚合物分光器件模板的设计实例,由聚合物的光学性能和分光要求,设计出模板的几何尺寸,通过微细加工工艺加工出模板,并给出了初步的热压印实验结果。
王海容蒋庄德刘俊明周志涛张英
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