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常丹
作品数:
1
被引量:3
H指数:1
供职机构:
电子科技大学物理电子学院应用物理系
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发文基金:
国家教育部博士点基金
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相关领域:
理学
机械工程
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合作作者
向霞
电子科技大学物理电子学院应用物...
祖小涛
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电子科技大学物理电子学院应用物...
居勇峰
电子科技大学物理电子学院应用物...
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强激光与粒子...
年份
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2009
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离子注入掺杂锐钛矿TiO_2薄膜的光学性能
被引量:3
2009年
在玻璃基体上,采用射频磁控溅射方法在不同的基体温度下制备了TiO2薄膜,然后在薄膜中注入注量分别为5×1016,1×1017和5×1017/cm2的N离子以制备N掺杂的TiO2薄膜。X射线衍射结果表明:制备出的TiO2薄膜为锐钛矿型。X射线光电子能谱研究结果表明:注入的N离子与TiO2晶粒相互作用,形成了含氮的TiOxN2-x化合物,从而改变了TiO2薄膜的吸收边;随N离子注量增加,吸收边移动更明显;同时,由于氮离子注入产生的辐照缺陷使TiO2薄膜在紫外和可见光区的吸收也明显增强。
常丹
陈猛
向霞
居勇峰
祖小涛
关键词:
TIO2薄膜
锐钛矿
离子注入
吸收光谱
射频磁控溅射
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