雷廷平
- 作品数：4 被引量：7H指数：1
- 供职机构：哈尔滨理工大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术更多>>
- In-Nb复合半导体氧化物Cl2敏感特性的研究
- 以检测Cl2为目标,采用恒温化学共沉积法合成了In-Nb复合半导体氧化物,并研究了其气体传感器的制作方法,分析了In-Nb气敏材料的微观特性和敏感特性,探讨了气敏机理.实验证明,In-Nb材料具有良好的Cl2敏感特性。
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- 关键词：气敏特性氯气传感器
- 文献传递
- ZnPcCl/_（16）有机半导体材料合成及其氯气传感器研究
- 随着石油化学工业的发展,易燃、易爆、有毒、有害气体的种类和应用范围与日俱增,这些气体一旦发生泄露,将会引发中毒、火灾甚至爆炸事故,严重危害人民的生命和财产安全。因此,及时可靠地探测空气中某些气体的含量,采取有效措施,减少...
- 雷廷平
- 关键词：有机半导体气敏机理
- 文献传递
- 全氯取代酞菁锌的合成及其Cl2气敏性研究
- 本文以四氯邻苯二腈和尿素为原料,采用钼酸铵固相催化法合成了全氯取代氯酞菁锌,并通过红外、紫外光谱对其进行了表征.在SiO2基片上,利用MEMS微加工技术制造了敏感电极,采用蒸发镀膜工艺制作了气体传感器薄膜.气敏测试结果表...
- 雷廷平施云波赵文杰李赞王立权
- 关键词：气敏性气体传感器
- 文献传递
- 基于MEMS叠层微结构的SO2毒气传感器被引量：7
- 2008年
- 利用多孔上电极叠层微结构，以真空镀膜技术形成气敏膜，采用MEMS微加工技术研制了气体传感器。依据等效电路和工艺边界条件，通过电导公式推导出传感器的输出电导提高了10^3倍，解决了有机半导体的信号采集问题。通过SEM微观形貌，确认蒸发电流100～120A、蒸发时间8～12s为电极成膜最佳条件；气敏膜表面呈现二次化学反应融合的200nm左右“米粒状”活性颗粒状态，均匀一致，孔隙有序。测试结果表明：比例系数为0．15～0．35的硫酸掺杂CuPcxPANI1-x对SO2有最佳的灵敏度；考虑到减少H2S气体干扰，选择CuPc0.35PANI0.65为气敏材料，在加热电压VH为1～2．5V时提高了传感器的灵敏度特性和响应恢复特性，响应时间为30s；传感器输出特性为单对数线性关系，检测范围为0～200×10^-6；经6个月的稳定性考核，其输出阻抗漂移≤±5％，灵敏度漂移≤10％。
- 施云芬施云波刘月华冯侨华赵文杰雷廷平
- 关键词：MEMS微结构气体传感器
