陈宏
- 作品数：5 被引量：19H指数：3
- 供职机构：哈尔滨工业大学更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术航空宇航科学技术机械工程更多>>
- 常压下工作的微机械陀螺的频率和阻尼特性被引量：7
- 2006年
- 对微机械陀螺振动式陀螺的频率和阻尼特性进行了分析和模拟.以设计的一种微机械陀螺为模型,对其驱动和检测方向的阻尼力系数进行了计算,利用MATLAB模拟了阻尼对灵敏度以及频率特性的影响.得出了不仅频率匹配对微机械陀螺的性能有重要影响,而且阻尼匹配也会影响陀螺的灵敏度和频率特性.
- 刘晓为陈宏陈伟平陆学斌韩天
- 关键词：微机械电子系统陀螺频率特性
- 一种全对称微机械陀螺的双级解耦机构特性被引量：4
- 2009年
- 为了实现微机械陀螺的频率匹配和双级解耦,提出了一种全对称双级解耦结构体硅微机械陀螺.该陀螺结构完全对称,容易实现驱动和检测模态谐振频率的匹配,提高系统灵敏度.驱动和检测方向的主要阻尼均为滑膜阻尼,在常压下工作也可以获得较高的品质因子,避免了器件的真空封装.利用4组十字折梁,实现了结构的双级解耦.仿真结果表明,模态之间的耦合系数小于0.17%.采用体硅微机械加工技术制作了样品,关键工艺有硅-玻璃阳极键合和DRIE技术.基于计算机图像技术对微机械陀螺进行了测试,验证了陀螺的解耦功能,在常压条件下测得该陀螺的品质因子为195,灵敏度为8.031 mV/((°).s-1).
- 陈伟平陈宏郭玉刚许鹏刘晓为
- 关键词：微机械陀螺
- 双自由度双解耦陀螺的结构设计与仿真被引量：3
- 2008年
- 设计了一种新颖的陀螺结构,该结构采用双自由度设计增大检测带宽,并缓解了品质因数对陀螺灵敏度的影响;采用了双级解耦的结构设计,减小了驱动模态的同频耦合干扰。文中对结构进行了电学模型建模,并进行了相应的时域和频域分析。
- 陈伟平王浩刘骁韩天陈宏
- 关键词：MEMS微机械陀螺
- 振动式微机械陀螺的带宽特性分析被引量：6
- 2008年
- 对振动式微机械陀螺的带宽特性进行了讨论,以设计的一种带解耦结构的振动式微机械陀螺为模型,利用数学工具软件MATLAB对其进行了带宽特性分析。分析结果表明,对于2自由度的陀螺,驱动频率的带宽不仅与驱动模态和检测模态的频率匹配有关,而且与两个模态的阻尼匹配有关。随着驱动模态和检测模态频率匹配的降低,带宽先增加然后基本保持不变。随着驱动和检测模态阻尼匹配的降低,带宽一直减小。通过实现驱动模态与检测模态的频率匹配和阻尼匹配可以获得最大机械灵敏度和最大驱动频率带宽。
- 陆学斌刘晓为陈伟平陈宏韩天
- 关键词：微机械陀螺微机电系统带宽特性
- 一种双自由度双级解耦微机械陀螺的特性分析被引量：1
- 2007年
- 为了降低微机械陀螺的机械耦合和改善工作稳定性,提出了一种新颖的双自由度双级解耦微机械陀螺.建立并求解了该陀螺的动力学方程,并从理论上分析了陀螺的系统特性.利用数值求解工具MATLAB模拟了陀螺的幅频特性,结果表明当品质因子从50变化到1 000时,平坦区带的幅度和相位变化很小.理论和模拟均证实了该陀螺在选择适当的工作区带时,能获得较高的工作稳定性.
- 陈伟平韩天王浩陈宏刘晓为
- 关键词：MEMS微机械陀螺双自由度解耦
