宁晓阳
- 作品数:3 被引量:8H指数:2
- 供职机构:西安工业大学光电工程学院陕西省薄膜技术与光电检测重点实验室更多>>
- 发文基金:陕西省教育厅科研计划项目更多>>
- 相关领域:理学金属学及工艺化学工程一般工业技术更多>>
- 用于激光防护的梯度折射率薄膜技术研究
- 激光防护用负滤光片是指在所要求的高透射光谱范围中滤除特定波长的激光,这种滤光片主要用于保护光学系统探测器或人眼不被激光损伤。近年来,随着激光技术的发展,激光武器在军事上的应用越来越广泛,激光防护技术的研究已经成为薄膜技术...
- 宁晓阳
- 关键词:光学薄膜
- 文献传递
- 直流反应磁控溅射制备a-C:H薄膜及其表面粗糙度研究被引量:5
- 2013年
- 为研究含氢类金刚石(a-C:H)薄膜的制备及性能,充入含—CH3原子团的CH4气体,在不同CH4/Ar流量比条件下于N型硅基底上沉积a-C:H薄膜,并借助椭偏仪、非接触式白光干涉仪及激光波面干涉仪对薄膜的沉积速率及表面粗糙度进行测定。结果表明,含氢碳源气体的加入提高了类金刚石薄膜的沉积速率,改善了表面平整度。
- 张艳茹杭凌侠郭峰宁晓阳
- 关键词:直流反应磁控溅射沉积速率表面粗糙度
- SiO_2/TiO_2变折射率光学薄膜制造技术研究被引量:3
- 2011年
- 探讨了单源混蒸技术制备SiO2/TiO2变折射率薄膜的可行性,分别蒸发SiO2和TiO2质量比为1∶1和1∶2的混料,研究分析了薄膜折射率的变化情况,并将其与双源共蒸的方法进行了比较。实验中发现,两种材料蒸发方式的差异是影响SiO2/TiO2变折射率薄膜制备的主要因素,尚未发现混料中SiO2和TiO2的质量比与SiO2/TiO2薄膜折射率的对应关联。
- 宁晓阳杭凌侠郭峰潘永强
- 关键词:电子束蒸发