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孙彬

作品数:2 被引量:89H指数:2
供职机构:西安交通大学机械工程学院机械制造系统工程国家重点实验室更多>>
发文基金:国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域:机械工程自动化与计算机技术更多>>

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 2篇机械工程
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 2篇位移传感器
  • 2篇误差补偿
  • 2篇激光位移传感...
  • 2篇感器
  • 2篇传感
  • 2篇传感器
  • 1篇三角法
  • 1篇激光干涉
  • 1篇激光干涉仪
  • 1篇光干涉仪
  • 1篇非接触
  • 1篇非接触测量
  • 1篇干涉仪

机构

  • 2篇西安交通大学

作者

  • 2篇孙彬
  • 2篇李兵
  • 1篇陈磊
  • 1篇魏翔

传媒

  • 1篇光学精密工程
  • 1篇仪器仪表学报

年份

  • 2篇2015
2 条 记 录,以下是 1-2
排序方式:
一种量化的激光位移传感器倾角误差补偿模型被引量:35
2015年
激光位移传感器具有非接触、测量范围大、测量效率高等优点,广泛应用于精密检测领域。然而,倾角误差是影响激光位移传感器测量精度的主要因素之一,为了提高激光位移传感器的测量精度,有必要对其进行分析研究,推导出能够在工程中应用的可量化的倾角误差补偿模型。首先从激光三角法测量原理开始,深入分析了激光光束的光路和光强损失的原因,然后根据光路的几何特征建立了物像方程,从倾角误差机理推导出一种可量化的误差模型,最后用激光干涉仪和正弦规在四坐标测量仪上。对激光位移传感器进行了倾角误差实验,把测量得到的数据经误差模型修正后,可以将传感器的测量精度控制在10μm以内。结果表明,所提出的倾角误差模型准确有效,在对复杂曲面的测量应用中,具有一定的使用和推广价值。
孙彬李兵
关键词:误差补偿激光位移传感器激光干涉仪
激光位移传感器在自由曲面测量中的应用被引量:64
2015年
以点激光位移传感器(HL-C211BE)为对象,研究它在自由曲面测量中的应用。针对激光位移传感器因测点倾角代入的测量误差,提出了一个可以量化的倾角误差模型。基于直射式点激光三角法原理,分析了激光光路的几何关系,从会聚光斑光能质心发生的偏移推导出倾角误差模型。随后,用高精度激光干涉仪和正弦规对激光位移传感器进行校对实验,并用误差模型对测量结果进行补偿。结果显示,补偿后激光位移传感器的测量精度得到明显提高。对一非球面凸透镜进行了实验测量,得到了自由曲面测点倾角的计算方法,并用倾角误差模型修正了测量数据。实验结果表明,量化的倾角误差模型可以将激光位移传感器的测量误差控制到小于10μm,满足激光位移传感器在自由曲面测量中应用的要求。
李兵孙彬陈磊魏翔
关键词:激光位移传感器非接触测量误差补偿
共1页<1>
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