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黄成强

作品数：21 被引量：10H指数：1
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：一般工业技术化学工程电子电信理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 19篇专利
  • 2篇期刊文章

领域

  • 4篇一般工业技术
  • 2篇化学工程
  • 1篇电子电信
  • 1篇理学

主题

  • 11篇硅衬底
  • 11篇衬底
  • 6篇前驱体
  • 6篇含氮
  • 6篇含碳
  • 5篇纳米
  • 4篇低温低压
  • 4篇电离
  • 4篇原子层沉积
  • 4篇运输方式
  • 4篇碳纳米管
  • 4篇碳纳米管结构
  • 4篇纳米管
  • 4篇纳米管结构
  • 4篇金刚石
  • 4篇金属
  • 4篇金属表面
  • 4篇刚石
  • 2篇氮气
  • 2篇等离子体辅助

机构

  • 21篇中国科学院微...
  • 1篇中国科学院嘉...

作者

  • 21篇饶志鹏
  • 21篇李超波
  • 21篇陈波
  • 21篇黄成强
  • 20篇万军
  • 19篇石莎莉
  • 19篇夏洋
  • 15篇刘键
  • 15篇李勇滔
  • 4篇吕树玲
  • 2篇汪明刚
  • 2篇夏洋
  • 1篇李楠
  • 1篇张祥

传媒

  • 1篇半导体技术
  • 1篇激光与光电子...

年份

  • 2篇2015
  • 8篇2013
  • 10篇2012
  • 1篇2011
共 21 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种掺氮碳纳米管的制备方法
本发明涉及碳纳米管的制备技术，具体涉及一种掺氮碳纳米管的制备方法。所述制备方法，包括如下步骤：将硅衬底放置于原子层沉积设备反应腔中；在所述硅衬底表面生长一层镍金属；向所述原子层沉积设备反应腔中通入碳氢物质，通过等离子体放...
夏洋饶志鹏万军刘键李超波陈波黄成强石莎莉李勇滔
文献传递
提高聚四氟乙烯薄膜亲水性的原子层沉积方法
公开了一种提高聚四氟乙烯薄膜亲水性的原子层沉积方法，包括：将聚四氟乙烯薄膜放置于原子层沉积设备反应腔中；向所述原子层沉积设备反应腔中通入四氯化碳，使得所述四氯化碳中的碳原子吸附在所述聚四氟乙烯薄膜表面；向所述原子层沉积设...
万军赵柯杰黄成强饶志鹏陈波李超波夏洋吕树玲石莎莉
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一种金刚石的制备方法
本发明涉及金刚石制备技术领域，具体涉及一种用原子层沉积设备制备金刚石的方法。所述制备方法，具体包括如下步骤：将硅衬底放置于原子层沉积设备反应腔中；通过载气运输方式将含碳前驱体输送至所述原子层沉积设备反应腔中；通过等离子体...
饶志鹏万军夏洋李超波刘键陈波黄成强石莎莉李勇滔
一种氮化铝薄膜的制备方法
本发明涉及一种用原子层沉积设备制备氮化铝薄膜的方法。所述制备方法，包括如下步骤：将硅衬底放置于原子层沉积设备反应腔中；向原子层沉积设备反应腔中通入含铝物质，含碳物质与硅衬底表面发生化学反应，使得含铝物质中的铝原子吸附在硅...
饶志鹏万军夏洋李超波刘键陈波黄成强石莎莉李勇滔
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掺氮二氧化钛薄膜的制备方法
公开了一种掺氮二氧化钛薄膜的制备方法，通过向反应腔室中先后通入含钛源气体，形成硅钛键；向原子层沉积设备反应腔中通入氮气和氢气，进行等离子体放电，氮气电离后部分氮原子与所述部分钛原子形成共价键，氮原子未成键的电子和电离的氢...
万军赵柯杰黄成强饶志鹏陈波李超波夏洋吕树玲石莎莉
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提高聚四氟乙烯薄膜亲水性的原子层沉积方法
公开了一种提高聚四氟乙烯薄膜亲水性的原子层沉积方法，包括：将聚四氟乙烯薄膜放置于原子层沉积设备反应腔中；向所述原子层沉积设备反应腔中通入四氯化碳，使得所述四氯化碳中的碳原子吸附在所述聚四氟乙烯薄膜表面；向所述原子层沉积设...
万军赵柯杰黄成强饶志鹏陈波李超波夏洋吕树玲石莎莉
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一种金刚石的制备方法
本发明涉及金刚石制备技术领域，具体涉及一种用原子层沉积设备制备金刚石的方法。所述制备方法，具体包括如下步骤：将硅衬底放置于原子层沉积设备反应腔中；通过载气运输方式将含碳前驱体输送至所述原子层沉积设备反应腔中；通过等离子体...
饶志鹏万军夏洋李超波刘键陈波黄成强石莎莉李勇滔
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一种碳化硅薄膜的制备方法
本发明涉及碳化硅薄膜制备技术领域，具体涉及一种用原子层沉积设备制备碳化硅薄膜的方法。所述制备方法，包括如下步骤：将硅衬底放置于原子层沉积设备反应腔中；向原子层沉积设备反应腔中通入含碳物质，含碳物质与硅衬底表面发生碳化学吸...
饶志鹏万军夏洋李超波刘键陈波黄成强石莎莉李勇滔
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一种石墨的制备方法
本发明涉及一种石墨的制备方法。所述制备方法具体包括：步骤（1）将掺杂衬底放置于原子层沉积设备反应腔中；步骤（2）向所述原子层沉积设备反应腔中通入含碳前驱体，通过等离子体放电，所述含碳前驱体电离出的含碳原子的基团吸附在所述...
夏洋饶志鹏万军刘键李超波陈波黄成强石莎莉李勇滔
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一种掺氮氧化锌薄膜的制备方法
本发明涉及氧化锌制备的技术领域，具体涉及一种掺氮氧化锌薄膜的制备方法。所述制备方法，包括：将硅衬底放置于原子层沉积设备反应腔中；向原子层沉积设备反应腔中通入含锌源气体，含锌源气体中的锌原子吸附在硅衬底上；以氮气为载气向原...
刘键饶志鹏万军夏洋李超波陈波黄成强石莎莉李勇滔
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