刘家骏
- 作品数：5 被引量：10H指数：3
- 供职机构：华中科技大学光学与电子信息学院武汉光电国家实验室更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信理学更多>>
- SiO_2-TiO_2溶胶-凝胶薄膜的激光致密化研究被引量：1
- 2008年
- 为了研究激光直写技术在薄膜器件成型工艺中的应用,采用波长为1.07μm的连续光纤激光器对S iO2/S i基表面S iO2-TiO2多孔溶胶-凝胶薄膜进行致密化的方法,得到了激光功率密度对薄膜收缩率的影响规律以及热处理温度对薄膜的激光致密化功率密度阈值和厚度变化的影响结果。结果表明,薄膜收缩率随着激光功率密度的增加而增大。薄膜热处理温度越高,激光致密化功率密度阈值越高,达到薄膜致密化极限需要的激光能量越大。激光致密化机制是通过硅衬底吸收激光能量,然后以热传导的形式加热溶胶-凝胶疏松薄膜,实现薄膜致密化。
- 李爱魁王泽敏刘家骏曾晓雁
- 关键词：激光技术SIO2-TIO2溶胶-凝胶
- 溶胶-凝胶法制备SiO_2-TiO_2平板光波导工艺研究被引量：4
- 2008年
- 采用溶胶-凝胶法制备了SiO2-TiO2平板光波导,计算了平板光波导通光条件,分析了硅/钛溶胶-凝胶材料的热性能,观测了平板光波导的结构形貌,并测试了其通光损耗。结果表明:经过200℃,30 min干燥处理的凝胶薄膜呈疏松多孔状态,对于非对称平板波导,存在芯层通光截止厚度,而且当SiO2-TiO2芯层厚度为0.5μm时,SiO2下包层厚度至少有6μm才能防止1550 nm波长光泄露入单晶硅衬底中。制备的光波导对于1550 nm波长光传输损耗最小值为0.34 dB/cm。
- 李爱魁王泽敏刘家骏曾晓雁
- 关键词：溶胶-凝胶光学设计传输损耗
- 激光直写法制备SiO<,2>/TiO<,2>条形光波导工艺与性能的研究
- 随着集成光学和光通信系统的飞速发展，有关光波导材料和制作工艺方面的研究就显得尤为关键。激光直写技术克服了以光刻技术为核心的波导传统制作技术的种种弊端，显示了自身强大的优越性而成为光电子器件领域重要的制造技术。
本课...
- 刘家骏
- 关键词：二氧化硅二氧化钛条形光波导
- 文献传递
- 激光直写技术制备SiO_2-TiO_2条形光波导工艺研究被引量：4
- 2008年
- 为了研究激光直写技术在光波导制备中的应用,采用波长为1.07μm的连续光纤激光器制备了硅基SiO2-TiO2条形光波导。探讨了激光直写技术制备条形光波导的原理,研究了激光参数对条形光波导宽度的影响,最后测试了光波导的通光模场以及光传输损耗。结果表明,条形光波导的宽度随着激光功率密度的增加而增大。当激光扫描速率在0.1mm/s^1mm/s范围内变化时,条形光波导的宽度随着激光扫描速率的增加而降低;高于1mm/s时对波导宽度无明显影响。在优化的工艺参数下,激光直写得到的条形波导的厚度约为0.4μm,宽度为120μm,整条波导非常均匀、准直性很好,对于1550nm波长的光呈多模传输,最小传输损耗为1.7dB/cm。
- 李爱魁王泽敏刘家骏曾晓雁
- 关键词：激光技术条形光波导激光直写SIO2-TIO2传输损耗
- 激光直写法制备条形光波导中的功率密度阈值被引量：3
- 2007年
- 采用溶胶-凝胶法(sol-gel)在Si基SiO2衬底上制备了SiO2-TiO2芯层薄膜,构成了以SiO2为下包层,空气为上包层的平面光波导。利用光纤激光器对平面波导的芯层进行直写,结合后续的化学腐蚀工艺得到了SiO2-TiO2条形光波导,并着重研究了激光直写波导过程中存在的功率密度阈值以及阈值随薄膜预热处理温度的变化关系。研究结果表明,激光直写SiO2-TiO2波导存在起始收缩阈值和烧蚀损伤阈值;随着薄膜热处理温度的提高,两个阈值同时增大,其中损伤阈值的增大趋势要大于收缩阈值;因而薄膜可承受的直写光斑直径变小,所得波导宽度显著减小。最后对直写制得条形光波导的导光性能作了测试分析,验证了波导的三维导光性。
- 刘家骏王泽敏李爱魁胡乾午曾晓雁
- 关键词：激光技术条形光波导激光直写溶胶-凝胶法
