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吴大可
作品数:
1
被引量:1
H指数:1
供职机构:
北京大学信息科学技术学院微电子研究院
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相关领域:
电子电信
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合作作者
田豫
北京大学信息科学技术学院微电子...
黄如
北京大学信息科学技术学院微电子...
卜伟海
北京大学信息科学技术学院微电子...
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吴大可
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2005
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新型SON器件的自加热效应
被引量:1
2005年
分析了自加热效应对SON器件性能的影响,并与SOI器件进行了比较.提出构造散热通路的方法来抑制SON器件的自加热效应,分析了不同通路情况对自加热效应的抑制程度.还对散热性能较好的具有不连续空洞埋层的SON器件进行了研究,并分析了空洞大小和横向位置偏差对器件性能的影响,为器件结构设计提供了指导.
吴大可
田豫
卜伟海
黄如
关键词:
自加热效应
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