李高增
- 作品数：2 被引量：2H指数：1
- 供职机构：山东大学更多>>
- 相关领域：理学一般工业技术化学工程更多>>
- 溶胶—凝胶法制备ZnO纳米薄膜的掺杂研究
- ZnO是一种Ⅱ-Ⅵ族宽禁带半导体材料,室温下的禁带宽度为3.37eV,激子激发能量为60meV。由于ZnO薄膜在诸多方面良好的发展潜力,近几十年来人们围绕薄膜制备、材料复合、薄膜掺杂器件应用等方面展开了广泛的研究。
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- 李高增
- 关键词：溶胶-凝胶法ZNO薄膜光电性能共掺杂
- 文献传递
- 离子液体辅助溶胶-凝胶法制备ZnO∶Al透明导电薄膜及其光电性能研究被引量：2
- 2011年
- 采用溶胶-凝胶法,以离子液体为辅助溶剂,在玻璃衬底上制备了ZnO∶Al(ZAO)薄膜。通过X-射线衍射(XRD)、场发射扫描电镜(FE-SEM)、紫外-可见分光光度计(UV-Vis)和霍尔效应等测试手段,分析了不同Al掺杂浓度ZAO薄膜的微观结构、光学和电学性能。结果表明,所制备的薄膜为非(002)取向的多晶膜。随着Al离子掺杂浓度的提高,薄膜的(002)晶面取向增强,晶粒逐渐由片状向球形转变,电阻率先降低后升高。进一步研究发现,在还原气氛NH3下退火可显著降低薄膜的电阻率,Al掺杂浓度为1 mol%时,薄膜电阻率达到4.7×10-2Ω·cm,可见光透过率平均在80%以上。
- 赵金博吴莉莉邹科于伟燕李高增
- 关键词：透明导电薄膜ZAO薄膜离子液体溶胶-凝胶光电性能
