刘雪莲
- 作品数：1 被引量：7H指数：1
- 供职机构：吉林大学计算机科学与技术学院符号计算与知识工程教育部重点实验室更多>>
- 发文基金：教育部重点实验室开放基金北京市自然科学基金国家教育部博士点基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术更多>>
- 基于DBSCAN与FSVM的半导体生产线成品率预测方法被引量：7
- 2016年
- 成品率是半导体生产线上的关键性能指标,对其进行预测分析能够有效控制芯片的生产成本、提高芯片质量,而芯片缺陷问题是制约成品率水平的关键因素。因此,研究一种密度聚类与模糊支持向量机相融合的半导体生产线成品率预测方法。首先,采用密度聚类方法对晶圆缺陷聚集特性进行分析,获取缺陷分布模式参数和密度参数,作为成品率预测模型的输入参数;然后,针对缺陷与成品率之间存在的模糊关系,利用模糊规则并结合支持向量机方法构建半导体生产线成品率预测模型;最后利用成品率预测结果对晶圆缺陷聚集特性进行定性分析,确定缺陷问题的来源,并提出相应的改善措施。通过仿真实验表明,所提方法的预测精度优于常用的泊松模型和二项式模型,具有更好的可行性。
- 邱明辉曹政才刘民刘雪莲
- 关键词：半导体生产线成品率模糊支持向量机
