付婧媛
- 作品数：8 被引量：6H指数：2
- 供职机构：浙江大学更多>>
- 发文基金：中央高校基本科研业务费专项资金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：机械工程电子电信更多>>
- 一种使用流体驱动的单活塞缸光滑壁面爬行装置
- 本实用新型公开了一种使用流体驱动的单活塞缸光滑壁面爬行装置。该装置通过连杆机构、滑块和固定底板与四个真空吸盘相连，使用流体驱动一个活塞缸伸缩运动，通过连杆机构对运动的传递、转化与四个真空吸盘吸、放相协调，实现装置在光滑壁...
- 刘季霖童章谦付婧媛林显克顾大强邹俊
- 文献传递
- 用水射流原理实现清洗机器人抽气、驱动与清洗的方法
- 本发明公开了一种用水射流原理实现清洗机器人抽气、驱动与清洗的方法。基于水流通过水射流抽气元件时所产生的进口增压、缩口负压的流体力学特性，利用缩口负压为清洗机器人的真空吸盘抽气，实现清洗机器人在所清洗壁面的吸附，将水射流抽...
- 邹俊刘季霖童章谦付婧媛林显克顾大强
- 文献传递
- 使用流体驱动的单活塞缸光滑壁面爬行装置
- 本发明公开了一种使用流体驱动的单活塞缸光滑壁面爬行装置。该装置通过连杆机构、滑块和固定底板与四个真空吸盘相连，使用流体驱动一个活塞缸伸缩运动，通过连杆机构对运动的传递、转化与四个真空吸盘吸、放相协调，实现装置在光滑壁面上...
- 顾大强刘季霖童章谦付婧媛林显克邹俊
- 文献传递
- 超洁净PTFE车削加工切削参数对表面形貌及粗糙度变化影响被引量：3
- 2022年
- 聚四氟乙烯(PTEE)是超洁净流控元件的主要材料之一。针对聚四氟乙烯机械加工后的表面粗糙度问题,从改变进给量及车刀材料选择和切削液是否使用的角度探究机械加工PTFE表面形貌的形成机理,发现了随着车刀停留时间的增加,PTFE表面粗糙度迅速降低并最终保持在一个稳定值,而车刀材料和是否使用切削液也对PTFE机械加工后的表面形貌有非常显著的影响;通过共聚焦激光显微镜和原子力显微镜(AFM),在不同的尺度下观察了加工后PTFE的表面形貌,为从微观层面解释聚四氟乙烯机械加工后表面形貌的形成提供了直观的观测结果,从而揭示了表面形貌与车削加工参数的映射关系,并为氟塑料车削工艺的优化提供了指导性依据。
- 颖惠民付婧媛刘范苏芮阮晓东
- 关键词：PTFE车削表面形貌粗糙度
- 水射流抽气式清洗机器人被引量：2
- 2009年
- 该文介绍了一种水射流抽气式清洗机器人,该机器人以清洗用水作为唯一的动力源,利用水射流所产生的负压特性实现机器人在清洗壁面上的吸附,利用水压驱动的活塞附以连杆机构实现机器人的直行、转弯等爬行动作,并利用水浸式超声波去污原理实现壁面的清洗。所研制的机器人具有质量轻、可靠性高、供能方式简单等优点。初步的现场试验证实了水射流抽气式清洗的实用性和可靠性,该机器人已获得2008年全国第三届大学生机械创新设计大赛一等奖。
- 刘季霖童章谦付婧媛林显克邹俊顾大强
- 关键词：机器人射流超声波
- 用水射流原理实现清洗机器人抽气、驱动与清洗的方法
- 本发明公开了一种用水射流原理实现清洗机器人抽气、驱动与清洗的方法。基于水流通过水射流抽气元件时所产生的进口增压、缩口负压的流体力学特性，利用缩口负压为清洗机器人的真空吸盘抽气，实现清洗机器人在所清洗壁面的吸附，将水射流抽...
- 邹俊刘季霖童章谦付婧媛林显克顾大强
- 文献传递
- 浸没式光刻机浸液系统污染控制研究现状及进展被引量：1
- 2022年
- 浸没式光刻是实现5 nm以上线宽高性能超大规模集成电路产品制造的关键技术。相比传统干式光刻,浸没式光刻需在末端物镜和硅片之间填充浸没液体。浸没液体的高折射率可以提高光刻机的数值孔径和曝光分辨率,但也对浸没式光刻的污染控制提出了挑战。为了减少曝光缺陷,提升曝光良率,需要对浸液系统中的各类污染物进行高精度检测与精准控制,以达到超洁净流控。从浸没式光刻技术的原理出发对比分析了干式光刻与浸没式光刻,概述了浸没式光刻机的发展历程,着重介绍了浸没式光刻浸液系统中几种污染物的产生机理、检测方法和控制手段,为进一步提高浸没式光刻芯片的曝光良品率提供了理论基础。
- 付婧媛苏芮阮晓东付新
- 关键词：污染机理污染检测污染控制
- 使用流体驱动的单活塞缸光滑壁面爬行装置
- 本发明公开了一种使用流体驱动的单活塞缸光滑壁面爬行装置。该装置通过连杆机构、滑块和固定底板与四个真空吸盘相连，使用流体驱动一个活塞缸伸缩运动，通过连杆机构对运动的传递、转化与四个真空吸盘吸、放相协调，实现装置在光滑壁面上...
- 顾大强刘季霖童章谦付婧媛林显克邹俊
- 文献传递
