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张晓强

作品数：1 被引量：1H指数：1
供职机构：东南大学电子科学与工程学院更多>>
发文基金：国家科技重大专项更多>>
相关领域：机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程

主题

  • 1篇塞贝克系数
  • 1篇微电子
  • 1篇微电子机械
  • 1篇微电子机械系...
  • 1篇MEMS
  • 1篇MEMS薄膜

机构

  • 1篇东南大学

作者

  • 1篇李伟华
  • 1篇周再发
  • 1篇张晓强

传媒

  • 1篇微纳电子技术

年份

  • 1篇2013
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
MEMS薄膜塞贝克系数的测试结构研究进展被引量：1
2013年
综述了微电子机械系统(MEMS)薄膜塞贝克系数的测试结构。首先介绍了塞贝克效应在MEMS领域的广泛应用,简述了测试MEMS薄膜塞贝克系数的目的和意义。然后详细列举了四类典型的MEMS薄膜塞贝克系数的测试结构,包括平面结构、纵向结构、微电子机械结构和纳米结构,并从测试结构的制作工艺、测量的准确性和精确度等方面对四类测试结构的优劣和适用范围进行了分析,给出了测试结构优化的建议。最后,介绍了针对测试结构存在的问题所开展的研究及取得的进展,展望了MEMS薄膜塞贝克系数测试结构的发展前景,指出了在线测试结构将推动MEMS薄膜测试技术的进一步发展。
张晓强李伟华周再发
关键词：塞贝克系数
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共1页<1>
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