刘光泽
- 作品数：3 被引量：0H指数：0
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- 相关领域：电子电信更多>>
- 基于自清洁表面结构制造的六光束干涉系统
- 一种基于基于自清洁表面结构制造的六光束干涉系统，实现结构简单，可靠性高，受外界环境和噪声影响小的一体式系统。装置大体可分为分光模块、角度调节模块、等厚相干模块三部分。其特征是激光进入装置系统内部后，在半反半透镜的作用下分...
- 张海鑫张鲁佳陈旭浪刘光泽王作斌
- 文献传递
- 薄膜表面直接四光束激光干涉制备复眼的研究
- 2014年
- 基于四光束激光干涉光刻技术,在薄膜表面实现了四光束激光直接干涉光刻制备微纳复眼结构,为激光干涉光刻研究提供了一个新的应用方向。对于多层复合薄膜,激光干涉光刻的效果与薄膜的透光率相关,即在一定范围内,透光率影响光刻结构的形成。在保持四光束激光干涉光刻系统波长和入射角度不变的条件下,通过改变能量得到不同尺寸的周期性孔阵结构,与复眼结构一致,发现透光率分别为5%、30%和75%的薄膜在20-30mJ曝光时均可形成清晰的周期复眼结构,且在25 mJ时最为明显。在700-1 200nm波段使用反射率测试系统对光刻前后透光率为5%、30%和75%的薄膜进行了反射率测试,测试结果表明经光刻后形成的结构反射率普遍降低,可以在薄膜表面实现减反特性。
- 张海鑫陈旭浪张鲁佳刘光泽张金金王大鹏王作斌
- 关键词：干涉光刻
- 基于自清洁表面结构制造的六光束干涉系统
- 一种基于自清洁表面结构制造的六光束干涉系统，实现结构简单，可靠性高，受外界环境和噪声影响小的一体式系统。装置可分为分光、角度调节、等厚相干三部分。其特征是激光进入装置内部后，由半反半透镜分成三束能量相同的激光束，通过全反...
- 张海鑫张鲁佳陈旭浪刘光泽王作斌
- 文献传递
