王楠楠
- 作品数：2 被引量：14H指数：2
- 供职机构：天津大学化工学院更多>>
- 相关领域：化学工程更多>>
- 三氟化硼纯化技术研究进展被引量：6
- 2012年
- 三氟化硼气体是半导体离子注入的重要离子掺杂源。为了达到电子级气体纯度的要求,三氟化硼气体的纯化技术研究具有重要意义。文中对三氟化硼气体的纯化工艺技术,即冷阱法、低温精馏法、选择性吸附法、化学转化法和多种工艺耦合联用进行了对比,分析各种工艺的优缺点:冷阱法操作简便,成本低,但纯度不够;低温精馏法分离效果好,但能耗大,操作条件要求比较严格;选择性吸附和化学转化法操作简易,设备安全,但吸附剂性能不太稳定,吸附效率有待提高。结合高丰度三氟化硼气体的纯化除杂背景,重点介绍选择吸附与低温精馏耦合联用工艺,纯化后的三氟化硼气体纯度可以达到99.995%。提出冷阱、物理吸附、化学转化以及精馏结合的方法,得到的高纯气体可以应用于电子工业领域。
- 张卫江李波徐姣王楠楠
- 关键词：电子气体三氟化硼纯化低温精馏
- 聚α-烯烃合成油制备过程中BF_3络合物的分离及回收被引量：8
- 2013年
- 阐述了聚-烯烃合成油制备过程中BF3络合物的分离及回收方法,包括吸附法、萃取法、吸收法、沉降法和裂解法。吸附法中SiO2和金属氟化物容易制备,适于小规模应用。萃取法中醇类萃取剂价格便宜、毒性小,优于氟代烷烃类萃取剂。吸收法产生副产物酸性化合物,腐蚀性强,已逐渐被淘汰。沉降法耗能较大,适于小规模应用。本文还介绍了裂解法的4种工艺,包括闪蒸/蒸发工艺、闪蒸-络合工艺、蒸馏-相分离工艺和裂解-气液分离工艺。综合4种工艺的优点,本实验室设计出真空蒸馏与BF3络合相结合的工艺,此工艺裂解充分,裂解后的BF3气体能够得到充分分离回收,具有一定的应用前景。
- 张卫江王楠楠徐姣李波
- 关键词：回收
