金丹
- 作品数：2 被引量：4H指数：1
- 供职机构：上海理工大学更多>>
- 发文基金：国家质检总局科技计划项目国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：理学电子电信机械工程更多>>
- 基于SPR的类铬型金属膜厚在线纳米测量研究被引量：3
- 2012年
- 当具有足够大发散角的柱面光照射在匀厚金属薄膜表面时,由表面等离子体振荡产生的光反射率角分布是膜厚的函数,用CCD接收反射光分布信息并经过计算机分析处理,可实时、在线测量10nm内的铬、钛等金属膜厚,这类金属的复介电常数的实部相对虚部是较小的负数,故具有强反射锐峰及较平坦的吸收峰,该两峰点可作为膜厚测量依据的特征标记点,并通过建库进行曲线匹配而获得膜厚数值。实验结果表明,该方法的平均测量误差可低于0.4nm。
- 李艳敏李孟超刘芳芳金丹张大伟庄松林
- 关键词：应用光学膜厚
- 基于SPR的多层金属膜厚在线纳米测量被引量：1
- 2012年
- 通过对于首层金属膜的SPR反射光强曲线的分析利用两峰值点标记角度,同时用柱面光与CCD测量系统建立无机械测角转台的反射光强角度分布测量系统。根据CCD接收的光强与位置对应信息经计算机处理换算为光强角度分布曲线,并通过与库内的曲线数据进行匹配而获得膜厚数值。利用该系统对铬钛银铝等常用金属薄膜进行了在线测控研究,得到了纳米级金属薄膜的膜层蒸镀顺序与相应的膜厚测量范围。
- 李艳敏李孟超刘芳芳金丹张大伟庄松林
