钟少龙
- 作品数：40 被引量：68H指数：5
- 供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
- 发文基金：国家重大科学仪器设备开发专项国家高技术研究发展计划国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信机械工程电气工程更多>>
- 土木工程施工过程的光纤光栅监控技术被引量：5
- 2006年
- 光纤光栅传感器性能优良,适合土木工程应变的长期测量。对光纤光栅传感器用于土木工程监测的布设工艺等相关问题进行了研究,并在江苏省邮政通信指挥中心工程成功地使用光纤光栅传感器对施工中结构受力体系转换过程进行了监控。结果表明,光纤光栅传感器测量数据稳定可靠,并且能进行分布式测量,效果明显优于传统的应变计。
- 顾冬生郭正兴吴刚钟少龙
- 关键词：悬挂结构光纤光栅应变传感器
- 基于MEMS波长可调谐FP光纤滤波器及其制备方法
- 本发明提供一种基于MEMS波长可调谐FP光纤滤波器及其制备方法，包括：1）提供半导体基底，在半导体基底的第一表面形成第一凹槽及第二凹槽；2）提供键合基底，在键合基底的第一表面形成第三凹槽；3）将半导体基底与键合基底键合；...
- 郭智慧龙亮杨恒钟少龙
- 一种基于MEMS工艺的光纤F-P应变计及成型方法
- 本发明公开了一种基于MEMS工艺的光纤F‑P应变计及成型方法，属于高精度光纤传感测量领域。所述光纤F‑P应变计主要包括F‑P应变敏感MEMS芯片和准直扩束光纤；其中，F‑P应变敏感MEMS芯片由SOI应变梁、玻璃固定极和...
- 钟少龙
- 文献传递
- MEMS加速度计信号光电检测与电容检测的噪声分析被引量：4
- 2008年
- 在高精度MEMS扭摆式加速度计电容检测和光电检测实现原理的基础上,分析了该加速度计热机械噪声和电学噪声特性。该加速度计结构在品质因数Q=1和Q=85时,热机械噪声分别为2.4μgn/Hz和0.28μgn/Hz。对于电学噪声,电容检测的电学噪声为3.27μgn/Hz,光电检测在只考虑电学噪声时能分辨的最小加速度可达0.05μgn。对比得出对于扭摆式加速度计结构,光电检测具有比电容检测更小的系统总噪声。
- 曾凡林钟少龙徐静吴亚明
- 关键词：电容检测光电检测
- 高精度波长形加速度传感器及其制备方法
- 本发明提供一种高精度波长形加速度传感器及其制备方法，包括：1）提供第一半导体基底，在第一半导体基底的表面形成第一凹槽；2）提供第二半导体基底，在第二半导体基底的表面形成闪耀光栅结构；3）将第一半导体基底与第二半导体基底键...
- 龙亮钟少龙郭智慧
- 微型光纤磁传感器的设计与制作被引量：12
- 2013年
- 提出了一种基于微机电系统(MEMS)扭镜结构的光纤磁场传感器,并利用对角度变化非常敏感的双光纤准直器对扭镜的扭转角度进行了检测。该MEMS光纤磁传感器由MEMS扭镜结构、磁性敏感薄膜和双光纤准直器组成。文中分析了器件的磁敏感原理和光纤检测原理,介绍了器件综合设计方法,并给出了器件的结构参数。利用MEMS加工技术成功制作出了MEMS光纤磁传感器样品,最终得到的磁传感器的尺寸为3.7 mm×2.7 mm×0.5 mm。对磁传感器进行了实验测试,得到的输出实验值与理论值吻合。测试结果表明,该磁传感器的光纤检测灵敏度可达到0.65 dB/mT,最小可分辨磁场可达167 nT。将MEMS敏感结构与光纤检测相结合,该传感器兼备了两者的优点,结构紧凑、制作工艺简单、工作时无需电流激励。
- 龙亮钟少龙徐静吴亚明
- 关键词：光纤传感器磁传感器微机电系统磁性薄膜
- MEMS光敏BCB硅—硅键合工艺研究被引量：3
- 2014年
- 光敏BCB作为粘结介质进行键合工艺实验研究。实验中选用XUS35078负性光敏BCB,提出了优化的光刻工艺参数,得到了所需要的BCB图形层,然后将两硅片在特定的温度与压力条件下完成了BCB键合。测试表明:该光敏BCB具有较小的流动性和较低的塌陷率。键合后的BCB胶厚约为11.6μm,剪切强度为18MPa,He细检漏率小于5.0×10-8atm·cm3/s。此键合工艺可应用于制作需要低温工艺且不能承受高电压的MEMS器件。
- 赵璐冰徐静钟少龙李绍良吴亚明
- 关键词：光刻低温键合剪切强度
- 基于扭转闪耀光栅检测的磁场传感器及其制备方法
- 本发明提供一种基于扭转闪耀光栅检测的磁场传感器及其制备方法，包括：1）提供半导体基底，在半导体基底表面形成第一凹槽；2）在第一凹槽内形成磁性薄膜结构；3）提供键合基底，将半导体基底与键合基底键合；4）在键合后的半导体基底...
- 龙亮钟少龙
- 文献传递
- 光纤光栅传感技术及其在石油石化行业的应用
- 本文所论述的光纤光栅传感系统是一种新型的传感技术,以其高精度、高可靠性、无零漂、不受电磁干扰、使用寿命长、传感器及传感线路不需要供电等优势在各个工业领域得到了广泛的应用,尤其是在石化等对防火防爆要求高的行业更是具有广泛的...
- 靳志强钟少龙叶晓平张碧华
- 关键词：光纤光栅光纤光栅传感器
- 文献传递
- 地源热泵中光纤光栅土壤温度监测系统研究被引量：3
- 2018年
- 太阳能与地源热泵的联合供能系统急需解决土壤的热平衡问题,因此土壤温度的测量与分析尤为重要。基于光纤光栅传感技术,对土壤进行分布式测温。基于Mod Bus通信协议,进行数据收集与处理,并利用SIM900A进行GSM/GPRS无线模块远传。该系统实现了北京市某现场近一年的土壤温度精确采集和实时远传。试验分析表明,该地源热泵井周围地区土壤温度波动大致范围在8~25℃之间,夏季温度高于冬季温度10℃左右;随着土壤深入,两者温度相差越来越少。地表温度较地下120 m处,夏季温度降低5℃左右,冬季温度比较平稳。土壤温度随着季节和热泵的运行,存在热量不均衡的情况。该系统为进一步优化太阳能及地源热泵联合供能系统的设计提供了有力的数据支持。
- 刘学君袁碧贤卢浩吴艳元钟少龙戴波
- 关键词：光纤光栅地源热泵太阳能土壤温度MODBUS热平衡
